판매용 중고 AXCELIS / FUSION MTL-200A #9087725

AXCELIS/FUSION MTL-200A는 etcher/asher입니다. 반도체 소자 제조에 있어 매우 다양한 요구 사항을 충족하도록 특별히 설계된 고정밀도, 고출력, 건식 에치 (dry etch) 장비다. FUSION MTL-200A는 유도 결합 플라즈마를 사용하여 실리콘, 갈륨 비소, 폴리 실리콘, 탄화물 및 다이아몬드를 포함한 다양한 재료를 식각 할 수 있습니다. Ashing은 AXCELIS MTL-200A의 옵션이기도 합니다. 고급 공정 (Advanced process) 기능은 재료를 절약하고 주기 시간 및 에너지 사용량을 줄여 소재 손실을 최소화하면서 탁월한 에칭 결과를 제공합니다. MTL-200A 는 모듈식 설계를 통해 향후 프로세스 요구 사항에 맞게 간편하게 업그레이드, 확장할 수 있습니다. 설계는 모든 PLC 논리를 활용한 현장에서 검증된 기술로, 유지 보수가 최소화된 견고하고 안정적인 시스템을 제공합니다. 사용자 친화적 인 HMI 인터페이스를 통해 매개변수 (parameter) 의 분산 및 프로세스 애플리케이션을 손쉽게 사용할 수 있으며, 다양한 옵션을 통해 단위를 특정 프로세스 요구사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 또한 AXCELIS/FUSION MTL-200A 의 내장형 진단 기능을 통해 모든 장비 또는 프로세스 오작동을 즉시 경고할 수 있으므로 다운타임 및 전체 프로세스 비용을 절감할 수 있습니다. 마지막으로 FUSION MTL-200A (FUSION MTL-200A) 는 다양한 안전 (Safety) 기능과 측정 방법을 제공하여 프로세스 개발 및 완료를 위한 효율적이고 안전한 환경을 제공합니다. PLC (Applicated Programmable Logic Controller) 와 함께 제공되어 안전성을 강화하기 위한 통합 -breathable-chamber Pressure Monitoring Machine 및 PDW (Automatic Pressure Differential Warning Tool) 뿐만 아니라 적절한 작동을 보장합니다. 또한, 제어/모니터링 기능과 자산 검증을 통해 실시간 피드백 (feedback) 및 프로세스 제어를 통해 정확한 프로세스 성능을 얻을 수 있습니다. AXCELIS MTL-200A 는 전반적으로 반도체 디바이스 제조를 위한 효율적이고, 안정적이며, 안전한 etcher/asher 입니다. 고급 기능, 손쉬운 유지 관리 및 운영, 안전 보호 (Safety Safeguard) 를 통해 모든 에칭 (Etching) 및 애싱 (Ashing) 요구 사항에 이상적인 선택이 가능합니다.