판매용 중고 AXCELIS / FUSION MTL-200A #9083200

AXCELIS/FUSION MTL-200A는 FUSION Technologies Inc.에서 설계 및 제조 한 고급 플라즈마 에처/애셔 (Plasma Etcher/Asher) 로, 반도체 산업이 정확하고 정확한 복잡한 구조를 처리 할 수 있도록 지원합니다. 이 최신 모델 인 FUSION MTL-200A (FUSION MTL-200A) 는 etching, ashing, dopant implantation 및 기타 웨이퍼 표면 처리 및 수정 등 다양한 프로세스에 사용하도록 설계되었습니다. AXCELIS MTL-200A plasma etcher/asher는 최적화된 사용 및 유연성을 위해 고급 멀티 스테이션 구성을 제공합니다. MTL-200A 는 단일 Wafer 구성과 양면 Wafer 구성을 모두 처리하여 여러 Wafer 를 동시에 처리하여 효율성 및 처리량을 높일 수 있습니다. 또한 AXCELIS/FUSION MTL-200A는 에칭 프로세스와 애싱 프로세스를 모두 제어하기 위해 정밀도 각도 웨지 전극이 내장 된 고급 듀얼 모드 플라즈마 소스를 갖추고 있습니다. 정교한 플라즈마 소스는 웨이퍼 표면을 손상시키지 않고 매우 섬세한 구조로 깊고 균일 한 에칭을 가능하게합니다. 반면, 애싱 (Ashing) 은 에칭 된 피쳐 사이의 정밀도로 작동하여 후속 웨이퍼 처리를 위해 깨끗한 웨이퍼 서피스를 생성합니다. FUSION MTL-200A의 뛰어난 설계는 또한 온도, 압력, 가스 흐름과 같은 에칭 프로세스 매개변수에서 정확성과 반복성을 보장합니다. "가스 '배달" 시스템' 과 결합 된 "플라즈마 '전원 공급 장치 는 에칭' 과" 애싱 '을 위한 최적 의 상태 를 보장 하기 위한 고도 의 조절 을 제공 한다. AXCELIS MTL-200A 의 고급 소프트웨어 시스템은 강력한 플라즈마 (Plasma) 기술 외에도 높은 수준의 프로세스 제어 및 추적 기능을 제공합니다. 이 소프트웨어에는 전체 프로세스 모니터링 및 분석을 위한 고급 매핑 및 진단 기능 (옵션) 과 APC/EPC 기능이 포함되어 있습니다. 이러한 기능을 통해 사용자는 프로세스 주기 동안 모든 운영 매개변수를 모니터링하고, 각 etch/ash 프로세스의 세부 사항을 분석하고, 향상된 출력/수율을 위해 레시피 매개변수를 최적화할 수 있습니다. 결론적으로 AXCELIS의 MTL-200A Plasma Etcher/Asher는 반도체 산업에 강력하고 효율적인 도구입니다. 고급 멀티 스테이션 구성, 정교한 플라즈마 소스 (Plasma Source) 및 우수한 소프트웨어 시스템을 결합하여 정확하고, 반복 가능하며, 균일 한 에칭 및 애싱 (ashing) 을 제공합니다.