판매용 중고 AXCELIS / FUSION / MATRIX Bobcat #9278672

AXCELIS/FUSION/MATRIX Bobcat은 다양한 기판에서 고정밀, 복잡한 3 차원 기능을 생성 할 수있는 고성능, 고급 기술 에처 및 애셔입니다. FUSION Bobcat은 고급 ICP-RIE (유도 결합 플라즈마-반응성 이온 에칭) 및 O3-SE (오존 지원 에칭) 에칭 프로세스의 조합을 사용하여 칩, 금속 및 복합 재료와 같은 기판에서 정확하고 고해상도 패턴 정의를 달성합니다. MATRIX Bobcat 에칭 시스템은 각각 자체 기능 세트가있는 3 개의 독립 챔버로 구성됩니다. 첫 번째 방은 코팅 로봇 (coating robot) 으로, 웨이퍼를 적절한 코팅으로 자동으로 인터페이스 할 수 있습니다. 두 번째 방은 애셔 (asher) 이며, 깊은 자외선 (UV) 빛을 사용하여 대상 물질을 정확하게 노출시킵니다. 세 번째 챔버는 ICP-RIE 또는 O3-SE 에칭 프로세스를 사용하여 재료를 정확하게 에칭하는 에처입니다. 3 개의 Bobcat 챔버에는 각각 다양한 조정 가능한 매개 변수가 장착되어 있으므로 AXCELIS Bobcat 의 에칭 및 애싱 (ashing) 프로세스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이러한 매개 변수는 전자 레인지 소스의 전력 수준, 에칭/애싱 가스의 흐름 속도, 가스 조성, 에칭/애싱 지속 시간, 전극에 적용 된 전압 및 플래튼 온도에서 다양합니다. 각 매개변수 (parameter) 를 개별적으로 조정하여 각 에치 (etch) 작업마다 최고 정밀도와 품질을 얻을 수 있습니다. AXCELIS/FUSION/MATRIX Bobcat 에는 고급 데이터 처리 시스템 (Advanced Data Handling System) 이 장착되어 있어 모든 에칭 및 어싱 프로세스를 프로그래밍하고 모니터링할 수 있습니다. 사용자는 필요에 따라 etching 결과를 저장, 비교, 매개변수 수정, on-the-fly 변경 등을 수행할 수 있습니다. 이 시스템은 전체 에칭 (etching) 프로세스가 반복 및 제어 방식으로 수행되도록 합니다. 전반적으로 FUSION 밥캣 (FUSION Bobcat) 은 오늘날 시장에서 가장 발전된 에처 및 애셔 중 하나이며, 높은 정밀도와 품질로 에칭 및 애싱 (ashing) 에 이상적인 다양한 조절 가능한 기능을 제공합니다. 매트릭스 밥캣 (MATRIX Bobcat) 은 고급 전자 부품 및 기판 제조 또는 특수 응용 프로그램을위한 복잡한 3 차원 구조 생성에 적합합니다.