판매용 중고 AXCELIS / FUSION / MATRIX Bobcat 209S #9201816

AXCELIS/FUSION/MATRIX Bobcat 209S는 고급 CMP (chemical-mechanical planarization) 응용 프로그램을 위해 특별히 설계된 에처/애셔입니다. 컴퓨터 제어 회전 플래튼 (computer-controlled rotating platen) 을 사용하여 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 동안 프로세스 챔버를 가로 질러 웨이퍼를 이동하여 높은 처리량과 우수한 프로세스 제어를 제공합니다. 이 CMP 장비는 웨이퍼 (wafer) 표면에서 재료를 정확한 속도로 제거하는 효과적인 도구를 제공합니다. FUSION Bobcat 209S는 CMP 프로세스에 대해 높은 수준의 자동화를 제공합니다. 고급 프로세스 컨트롤러 (advanced process controller), 기판의 압력 센서 및 슬러리 공급, 배기 압력, 각 프로세스 단계의 온도 및 압력 제어, 자동 프로세스 플러시 (automated process flush) 및 웨이퍼 클리닝 주기 조정을위한 유체 전달 시스템 (fluid delivery system) 이 포함됩니다. MATRIX Bobcat 209S에는 운영자 개입 없이 여러 로트 크기를 처리 할 수있는 VDIL (vision-directed inert etching) 기능도 있습니다. 이 장치는 또한 옵션 DPM (회절 피드백) 센서를 사용하여 정확한 프로세스 제어를 허용합니다. 또한 AXCELIS Bobcat 209S 는 온도, 압력 프로파일, 웨이퍼 클리닝 프로파일, 프로세스 레시피 등 다양한 프로세스 지원 툴을 제공합니다. 프로세스 반복성 및 안정성 향상을 위해 Bobcat 209S 는 레시피 관리 소프트웨어 시스템과 호환되는 소프트웨어를 사용합니다. AXCELIS/FUSION/MATRIX Bobcat 209S는 유연한 CMP 시스템입니다. 따라서 etch-back, CMP (chemical mechanical polishing), 가스 및 화학 에칭 및 ashing을 포함한 다양한 CMP 프로세스를 지원합니다. 직경 200mm까지 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 안전 측면에서 FUSION Bobcat 209S는 CE 및 CSA 안전 표준을 준수합니다. 안정적인 설계 및 안전 표준의 결과, MATRIX Bobcat 209S는 최고의 처리량과 효율적인 VDIL 성능을 제공합니다. 또한, 비용 효율성, 간편한 유지 보수, 광범위한 프로세스 옵션을 통해 고급 반도체 구성 및 CMP 어플리케이션을 위한 최적의 선택이 가능합니다.