판매용 중고 AXCELIS / FUSION / MATRIX Bobcat 209S #9201805

AXCELIS/FUSION/MATRIX Bobcat 209S는 마이크로 프로세서 및 DRAM과 같은 집적 회로의 생산을 위해 설계된 에처/애셔입니다. FUSION Bobcat 209S는 안정성이 높고, 정확하며, 효율적이며, 어플리케이션을 에칭하거나 애쉬할 때 뛰어난 성능을 제공합니다. 최대 8 인치 직경의 기판을 처리하여 단면 (single sided) 프로세스와 양면 (double sided) 프로세스를 모두 제공합니다. 이 시스템의 전기 부품 (electrical component) 은 공칭 전압 200V로 작동하도록 설계되었으며, 최대 600V를 처리 할 수 있으며, 따라서 에칭 및 애싱 (ashing) 프로세스를 더 잘 제어할 수 있습니다. 또한 특허를 획득한 스윙 도어 챔버 (swing door chamber) 를 통해 기판 로딩/언로드가 쉽고 빠르게 가능합니다. 스윙 도어 (swing door) 는 또한 전체 프로세스에 대해 일관된 온도를 유지하면서 기판 온도 변화에 대한 노출을 줄입니다. MATRIX Bobcat 209S는 또한 독특한 통합 컴퓨터 모니터 VGA/비디오 카메라를 제공합니다. 이를 통해 사용자는 각 기판을 시각적으로 검사하여 프로세스 일관성을 모니터링할 수 있습니다. 또한 자동 끝점 탐지 (Automatic Endpoint Detection) 시스템은 에칭 및 애싱 프로세스가 올바르게 끝나도록 프로세스 조건을 모니터링합니다. 또한 AXCELIS Bobcat 209S는 RF를 지원하며, 온도 조절 플랫폼을 통해 밀도, 균일성 및 에치 속도 안정성을 향상시킵니다. 또한 프로세스 전반에 걸쳐 정확한 축 증착 제어를 제공하는 질량 흐름 컨트롤러 (Mass Flow Controller) 가 특징입니다. 또한 사용자는 여러 레시피 프로그램을 지원하여 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 레시피를 프로그래밍하고 나중에 참조할 수 있도록 레시피를 저장할 수 있습니다. 밥캣 209S (Bobcat 209S) 는 성능 및 효율성을 극대화하도록 설계되어 단기간 내에 정확하고, 고품질 에칭 및 애싱 (ashing) 프로세스를 지원합니다. 성능 향상과 생산 속도 향상을 원하는 제조업체에 적합합니다. 집적 회로 요구를 위해 신뢰할 수있는 에처 (etcher )/애셔 (asher) 를 찾는 사람들에게는 안정적이고 사용자 친화적입니다.