판매용 중고 AXCELIS / FUSION Integra #9244815

AXCELIS/FUSION Integra는 전자 제품 제조 공정에 사용되는 기판 및 웨이퍼의 에처/애셔 (etcher/asher) 장비입니다. 이 제품은 광범위한 전자 어플리케이션에 매우 중요한, 깨끗하고 전도성이 뛰어난 금속 (metal surface) 을 보장하는 높은 수준의 정밀도 (precision) 및 제어 기능을 제공합니다. 이 시스템은 고귀한 금속 에칭 기능을 갖추고 있으며, 집적 회로 (integrated circuit) 와 같은 전자 부품 및 기타 마이크로 일렉트로닉 (microelectronic) 구조에 이상적입니다. 또한 1 "~ 6" 의 다양한 기판 및 웨이퍼 크기를 지원합니다. 이 장치에는 강력한 프로세스 제어 소프트웨어 (etching parameter) 가 있어 에칭 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 에치 깊이, 균일성, 스케일 공차 및 에치 속도에 대한 정확한 제어를 제공합니다. 또한 각기 다른 회로 요구 사항에 따라 etching 매개변수를 조정할 수 있는 유연성도 제공합니다. 폐기물을 최소화하고 성능을 최적화하기 위해 언제든지 프로세스를 중지할 수 있습니다. 이 기계는 또한 에너지 효율성이 높으며, 기존의 습식 시스템에 비해 에너지 사용을 크게 줄였습니다. FUSION Integra는 독특한 공기 여과 도구를 갖추고 있으며, 유해 대기 오염 물질 배출량을 거의 99% 줄입니다. 또한, 자산은 물 사용량을 줄이고, 운영자가 운영 비용을 크게 줄일 수 있도록 설계되었습니다. 이 모델은 손쉬운 운영, 설치 및 유지 관리를 위해 설계되었습니다. 간편한 설치 및 배포를 위한 설치 지침이 제공됩니다. 또한, 이 장비는 자동 유지보수 주기 (automatic maintenance cycle) 및 진단 (diagnostics) 기능을 제공하여 추가 인력 없이 유지 관리 작업을 수행할 수 있습니다. AXCELIS Integra는 다양한 유형의 에치 및 애싱 어플리케이션을 위해 설계되었습니다. 일반적으로 접착 레이어를 만들고, 웨이퍼를 청소하고, 다중 레이어 구조를 만드는 데 사용됩니다. 또한 MEMS 및 나노 장치에 사용되는 것과 같은 섬세한 표면의 에칭에도 사용됩니다. 이 시스템은 안전법 (Safety Laws), 근로자 보호법 (Worker Protection) 등 모든 관련 규정 및 지침을 준수하고 안전하도록 설계되었습니다. 안전 (Safety) 문서와 지원이 제공되어 안전 및 규정 준수를 보장합니다. 뿐 만 아니라, 이 장치 는 먼지 와 화학 물질 이 빠져나가지 않도록 설계 되어 있어서, 안전 한 작업 환경 을 유지 한다. 전반적으로, 인티그라 (Integra) 는 많은 유형의 에칭 및 애싱 어플리케이션에 유연한 제어 및 정밀도를 제공하는 효율적이고 고급 에칭/애싱 머신입니다. 운영 및 유지 보수가 용이하도록 설계되었으며, 다양한 기판 크기를 지원합니다 (영문). 또한 에너지 사용 및 유해 배출량을 최소화하면서 안전 및 규정 준수 (Compliance) 운영을 보장합니다.