판매용 중고 AXCELIS / FUSION Integra #9201835

AXCELIS/FUSION Integra는 반도체 제조 산업의 대용량 처리를 위해 설계된 고급형 에칭 및 애싱 장비입니다. 이 고급 시스템은 플라즈마 에칭 (plasma etching) 과 퍼니스 애싱 (furnace ashing) 을 모두 유연성과 결합하여 하나의 유닛에서 여러 기능을 사용할 수 있습니다. 이 기계는 신뢰성이 높고 효율적이며, 가장 정교한 반도체 제조 공정의 요구를 쉽게 충족시킬 수 있습니다. FUSION Integra는 다양한 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있으며, 최대 6 개의 에치 및 4 개의 애싱 작업을 동시에 수행하는 데 능숙합니다. 이 도구는 50 "(1270mm) ICP 소스 및 다중 영역 격리 챔버로 구성되어 장기 프로세스에 대한 안정적인 작동을 제공합니다. 에치 프로세스의 경우 시간당 최대 75 웨이퍼, 재싱의 경우 시간당 최대 25 웨이퍼의 처리량을 제공합니다. 이 자산은 또한 성능 및 신뢰성을 향상시키는 듀얼 칠러 냉각 모델 (dual chiller cooling model) 과 프로세스 전반에 걸쳐 일관된 가스 압력을 보장하기 위해 정밀 속도 생성 비활성 가스 전달 장비를 갖추고 있습니다. AXCELIS Integra 는 직관적이고 편리한 인터페이스로, 최대 50 개의 레시피를 저장하여 빠르고 쉽게 액세스할 수 있습니다. 또한 PID 알고리즘을 튜닝하여 유연하고, 정확하며, 반복 가능한 프로세스 제어를 제공하는 강력하고, 고효율적인 제어 장치를 갖추고 있습니다. 이 기계는 또한 정밀 클리닝 스테이션 (precision cleaning station) 을 갖추고 있어 프로세스 간 공구 컴포넌트를 쉽고 효과적으로 클리닝할 수 있습니다. 인력의 안전을 보장하기 위해 인티그라 (Integra) 에는 여러 가지 안전 기능이 내장되어 있습니다. 자산에는 우발적 인 프로세스 시작 또는 종료를 방지하기 위해 인터 록 (interlock), 안전, 작동 및 비상 종단 기능을 보장하는 플레임 감지 시스템 (flame detection system) 이 장착되어 있습니다. 전반적으로 AXCELIS/FUSION Integra는 에칭, 반응성 이온 에칭 및 애싱 프로세스에 이상적인 고급 모델입니다. 이 장비는 안정적이고, 효율적이며, 사용하기 쉬운 솔루션을 제공하며, 회의 뿐만 아니라, 가장 까다로운 반도체 처리 요구 사항의 요구를 초과합니다.