판매용 중고 AXCELIS / FUSION GPS #9226279
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ID: 9226279
웨이퍼 크기: 8"
Dual chamber UV Stabilizer / Bake system, 8"
With 3-Axis robot
Missing parts.
AXCELIS/FUSION GPS 는 고급 에치 (etch) 및 애셔 (asher) 플랫폼으로 프로세스 통합 및 운영 모두에 뛰어난 프로세스 제어, 반복 및 생산성을 제공합니다. 여기에는 포괄적인 소프트웨어, 하드웨어, 소모량 (소모량) 제품군이 포함되어 있어 다양한 애플리케이션에 대해 고정밀도, 재현성이 뛰어난 프로세스를 만들 수 있습니다. FUSION GPS 플랫폼은 다양한 소프트웨어/하드웨어 구성요소를 갖춘 강력한 제어 모듈로, 다양한 프로세스 구성에 적합합니다. 이 소프트웨어는 유연성이 높고 사용자 친화적으로 설계되었으며, 사용자가 시스템을 빠르고 효율적으로 프로그래밍하고 제어할 수 있게 해 줍니다. 이 시스템은 다양한 에치 화학 물질 (etch chemistry) 과 미디어 (media) 와 함께 사용될 수 있으며, 통합 처리, 생산 및 접촉 리소그래피 응용 분야에 적합합니다. AXCELIS GPS 플랫폼의 하드웨어 구성 요소는 전자 빔 소스, 광학 장치, 웨이퍼 스테이지 및 이온 소스로 구성됩니다. 전자 빔 소스 (electron beam source) 는 반도체 재료의 특징을 선택적으로 에칭하는 데 사용되는 고에너지 빔을 생성합니다. 광학 장치 (optics unit) 는 고에너지 빔의 적절한 초점을 가능하게 하며, 에칭 프로세스를 최적화하기 위해 설계된 셔터 제어 (shutter control) 및 기타 기능이 장착되어 있습니다. 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 를 사용하면 웨이퍼를 회전시키고 이동하여 모든 피쳐의 균일 한 처리를 확인할 수 있습니다. 마지막으로, 이온 소스는 이온을 대상 기판에 이식시키는 데 사용되며, 에칭 프로세스를 더욱 향상시킵니다. GPS 플랫폼은 인력과 시설을 보호하기 위해 설계된 다양한 안전 (safety) 기능을 갖추고 있습니다. 이러한 기능에는 고해상도 평면 패널 디스플레이 (Flat Panel Display) 및 고급 안전 인터 록 (Safety Interlock) 이 포함되며, 처리 중 발생할 수 있는 압력, 진공 및 온도 변화를 감지하고 안전하지 않은 이벤트가 발생할 때 연산자에게 알립니다. 또한, 이 플랫폼에는 처리 환경을 시원하고 깨끗하게 유지하도록 설계된 통합 cryo-cooling 시스템이 포함되어 있습니다. 마지막으로 AXCELIS/FUSION GPS 플랫폼에는 다양한 소모품 (소모품) 이 포함되어 있어 모든 애플리케이션에서 유망한 결과를 얻을 수 있습니다. 소모품 마스크에서 샘플링 홀더, 케이블 등에 이르기까지, 플랫폼은 각 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스에서 안정적이고 일관된 성능을 보장합니다. 시간이 지남에 따라 플랫폼은 우수하고 반복 가능한 프로세스 결과를 산출합니다.
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