판매용 중고 AXCELIS / FUSION Gemini Polo #9398809

AXCELIS/FUSION Gemini Polo는 컴팩트하고 처리량이 높은 에치/애셔 장비로, 반도체 산업의 정밀 애플리케이션을 위해 설계되었습니다. 간편하고 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 갖추고 있어 효율적이고 간편한 운영을 지원합니다. 이 시스템에는 자동화된 고정밀 축 (high-precision axis) 단계가 포함되어 있어 탁월한 정확성과 반복성을 제공합니다. FUSION Gemini Polo는 고급 에칭 및 애싱 기능을 갖춘 기판 처리에 이상적입니다. AXCELIS 제미니 폴로 (Gemini Polo) 는 공간이 제한된 실험실에 적합한 간단한 공간 절약형 디자인을 갖추고 있습니다. 여기에는 실시간 프로세스 모니터링 및 제어를위한 온보드 SEM (Secondary Electron Imaging) 장치가 포함됩니다. 이 기계는 또한 최적의 결과를 위해 레시피를 분석하고 조정 할 수있는 지능형 자동 조정 기능 (Intelligent Auto-Tune Feature) 을 포함합니다. 제미니 폴로 (Gemini Polo) 에는 대형 웹 기반 모니터링 도구 인터페이스가 있어 외부 소스에서 처리를 쉽게 제어 및 모니터링할 수 있습니다. 강력한 에치/애셔는 뛰어난 균일 성, 정밀성 및 재현성을 제공하는 HiDef 플라즈마 자산을 사용합니다. 큰 공정 챔버 (process chamber) 는 250 ~ 800mm 범위의 챔버 크기를 제공하여 광범위한 공정 응용 프로그램에 적합합니다. AXCELIS/FUSION Gemini Polo는 또한 자동 압력 제어 모델을 사용하여 모든 압력 수준에서 최적의 성능 및 반복 성을 보장합니다. 높은 처리량, 정확성 및 신뢰성을 고려할 때, FUSION Gemini Polo는 우수한 에치/애싱 정밀도가 필요한 웨이퍼 처리 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. 강력한 하드웨어/고급 소프트웨어 툴을 갖춘 장비의 호환성 (Compatibility) 은 특정 요구 사항에 따라 프로세스를 스케줄링하고 실행할 수 있는 유연성을 제공합니다. 사용자 친화적 인 인터페이스와 사용하기 쉬운 레시피 에디터는 AXCELIS Gemini Polo를 바쁜 실험실에 이상적인 에치/애셔로 만듭니다.