판매용 중고 AXCELIS / FUSION Gemini PCU #9258508

AXCELIS/FUSION Gemini PCU (종종 FUSION Gemini PCU) 는 플라스마 강화 화학 증기 증착 (PECVD) 을 사용하여 다양한 재료를 입금하고 에칭하는 에칭 및 애싱 도구입니다. AXCELIS Gemini PCU는 다양한 기판에서 고정밀 에칭 및 재싱을 허용합니다. 반도체 업계의 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 을 위한 최고의 선택이다. Gemini PCU는 저전압, 고전력 무선 주파수 (radio-frequency) 에너지를 사용하여 저압 환경에서 수백 와트의 전력을 생성합니다. 이 환경 은 "에칭 '과정 을 위한 재료 층 의 증착 을 촉진 시키는 데 사용 된다. 그 다음 에 "플라즈마 '로 가득 찬 다른 방 을 통하여 재료 를 통과 시킴 으로써" 에칭' 과정 을 수행 하게 되는데, 그 방 은 "플라즈마 '로 가득 차 있다. 이 챔버 에서 생성 된 "플라즈마 '는 여러" 센서' 와 기타 전자 부품 에 의하여 감시 되고 제어 된다. 에칭 과정은 초기 에치와 사후 에치 (post-etch) 의 두 단계로 수행됩니다. 초기 에치는 바이어스 전압 (bias voltage) 을 사용하여 PECVD에 의해 증착 된 재료 층을 탈환합니다. 이 재료 는 기판 에 새겨진 "패턴 '에 의하여 결정 되는 모양 으로 떨어져 나간다. 에치 후 공정 (post-etch process) 은 고출력 이온 빔을 사용하여 패턴 모양을 기판으로 더 세분화합니다. 이는 제조업체가 개발 한 교정 에치 전략을 사용하여 수행됩니다. AXCELIS/FUSION Gemini PCU는 구리, 알루미늄, 주석, 텅스텐, 유리 및 실리콘과 같은 광범위한 재료를 에칭하고 분쇄 할 수 있습니다. 따라서 복잡한 에칭 (etching) 패턴과 어싱 (ashing) 요구 사항이 관여하는 애플리케이션에 적합한 솔루션입니다. 또한 매우 반복 가능합니다. 즉, 주어진 기판은 매번 동일한 에칭 및 애싱 결과를 유지합니다. FUSION Gemini PCU는 안정적이고 강력한 에칭 및 애싱 도구로 간주됩니다. 고품질, 정밀, 반복 가능한 결과물을 생산하는 능력은 반도체 업계에서 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 에 이상적인 선택이라 할 수 있습니다. 그것 의 정확성 과 재현성 은 또한 "에칭 '과" 애싱' 이 필요 한 다른 여러 가지 응용 에 적합 하다.