판매용 중고 AXCELIS / FUSION Gemini GPS #9272582

AXCELIS/FUSION Gemini GPS는 최첨단 에칭/애싱 머신으로, 고정밀, 고가로 비율 마이크로 전자 구조의 생산을 위해 특별히 설계되었습니다. 이 도구의 중요한 특징은 높은 에치 및 애싱 해상도입니다. 균일 한 선형 에치 레이트 (linear etch rate) 및 20 미크론 구조 피쳐 크기로 입증됩니다. FUSION Gemini GPS는 매우 복잡한 3D 구조를 가진 웨이퍼의 고급 제작에 이상적입니다. AXCELIS GEMINI GPS에는 2 개의 독립 챔버가 장착되어 있으며, 각각 정확한 웨이퍼 포지셔닝 및 기동을위한 독립형 8 축 로봇이 있습니다. 이러한 Wafer 이동 기능은 여러 축으로 반복 가능한 Positioning을 허용하여 완전하게 자동화된 프로세스 실행을 허용합니다. 또한, 다중 축 동작을 사용하면 여러 처리 레시피를 사용할 수 있으며, 각도 (angled landscape) 패턴화와 같은 고급 기술을 사용할 수 있습니다. AXCELIS/FUSION GEMINI GPS는 고성능 프로세싱 전자 패키지로 구동됩니다. 다양한 프로그래밍 가능한 RF/DC 전원 공급 장치 출력, 최대 8 축의 전체 모션 제어, 기계 I/O 제어를 위한 32 개의 디지털 입력 및 출력이 있습니다. 이러한 모든 기능을 통해 프로세스 제어를 정확하고, 높은 수율과 예측 가능한 성능으로 변환할 수 있습니다. FUSION GEMINI GPS에는 프로세스 품질을 향상시키기 위해 몇 가지 고급 기능이 있습니다. 통합된 멀티 비전 시스템을 사용하면 자동으로 웨이퍼 (wafer) 를 정렬하고 점검할 수 있으므로 정확한 프로세스 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 이 기계는 고급 고정밀 RF 전원 제어 및 직접 드라이브 AC 밸브를 사용하여 즉석 가스 흐름을 조정하여 프로세스 환경을 정확하게 제어합니다. 결론적으로, GEMINI GPS는 강력하고 신뢰할 수있는 에치/애쉬 머신으로, 매우 정밀하고, 높은 종횡비 마이크로 일렉트로닉 구조의 생산을 위해 특별히 설계되었습니다. 다중 축 동작, 가변 RF/DC 전원 공급 장치, 다중 비전 및 정확한 가스 제어를 통해 고급, 고수율 처리가 가능합니다. 고급 마이크로 일렉트로닉 패브에 이상적인 솔루션입니다.