판매용 중고 AXCELIS / FUSION Gemini GPL #293757340

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에처/애셔
제조사
AXCELIS / FUSION
모델
Gemini GPL
ID: 293757340
Plasma asher Dual ashing chamber Coolplate cassette loading station with automatic robot handler Photoresist etching Gases: O2 / N2H2 Endpoint detection Etch uniformity: < 5%.
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