판매용 중고 AXCELIS / FUSION G03 #9187680

AXCELIS/FUSION G03은 고성능 반도체 웨이퍼 처리를 위해 설계된 고급 etcher/asher 장비입니다. 이 고급 시스템은 탁월한 수준의 제어, 유연성 및 신뢰성을 제공합니다. 이 장치는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 어플리케이션 모두에 이상적이며, 사용자에게 고급 기능과 기능을 제공합니다. FUSION G03에는 고급 멀티 챔버 (multi-chamber) 디자인이 장착되어 있어 동일한 시스템에서 다중 에칭 및 애싱 (ashing) 작업을 수행할 수 있습니다. 이 도구는 또한 정밀한 프로세스 제어 및 높은 처리량을 위해 고효율 진공 펌프 (vacuum pump) 를 갖추고 있습니다. 이 자산은 특허를받은 "턴키" 기술을 사용하여 일관된 성능을 보장합니다. 또한, 이 모델에는 최대 유연성, 정확한 에칭 및 애싱 (ashing) 을 위한 이중 소스 전원 공급 장치가 장착되어 있습니다. AXCELIS G03은 탁월한 챔버 제어 기술을 제공하여 사용자가 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 조건을 미세하게 조정할 수 있습니다. 정밀하고 반복 가능한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 조건을 달성하기 위해 챔버를 프로그래밍 할 수 있습니다. 이 장비에는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스의 압력을 관리하기위한 자동 압력 제어 시스템도 장착되어 있습니다. G03은 가장 까다로운 에칭 및 애쉬 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 이 장치는 높은 수준의 프로세스 반복성 및 프로세스 제어를 유지하면서 매우 높은 에치 속도 (etch rate) 와 높은 처리량 (throughput) 을 생산할 수 있습니다. 이 시스템은 고급 프로세스 모니터링 (process monitoring) 및 데이터 로깅 (data logging) 기능도 갖추고 있어 프로세스 결과를 추적하고 분석할 수 있습니다. 마지막으로 AXCELIS/FUSION G03 은 운영자의 안전성을 극대화할 수 있도록 설계되었으며, 안전한 작동을 보장하는 다양한 안전 기능이 있습니다. 전반적으로, FUSION G03 은 성능, 유연성, 제어 수준을 제공하는 고급 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 툴로서, 다른 자산에서 탁월한 성능을 제공합니다. 이 모델은 높은 수준의 프로세스 제어를 유지하면서 높은 에치 속도 (etch rate) 와 처리량을 생산할 수 있습니다. 이 장비는 또한 강력한 프로세스 모니터링 (process monitoring) 및 데이터 로깅 (data logging) 기능을 갖추고 있어 프로세스 결과를 쉽게 추적하고 분석할 수 있습니다. 마지막으로, 이 시스템은 최대한의 운영자 안전 (Operator Safety) 을 위해 설계되었으며, 다양한 에칭 및 애싱 (Ashing) 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.