판매용 중고 AXCELIS / FUSION G03 #9187640

AXCELIS/FUSION G03 (AXCELIS/FUSION G03) 은 오늘날의 고급 반도체 생산의 요구를 충족하도록 설계된 고급 에처 및 애셔입니다. 다양한 재료를 에치 (etch), 애셔 (asher) 및 어니얼 (anneal) 하여 매우 정확하고 반복 성을 갖춘 정확한 패턴을 만들 수있는 멀티 스테이션, 멀티 스테이지 프로세스 도구입니다. FUSION G03 (FUSION G03) 은 견고한 구성과 안정적인 자동화 장비를 갖추고 있어 매우 다양한 복잡한 구성 요소를 생산하는 데 적합합니다. AXCELIS G03에는 단일 솔리드 스테이트 유닛에서 에칭, 애싱 및 어닐링 작업을 결합하는 300mm 전체 프로세스 챔버가 있습니다. 따라서 제조 프로세스의 복잡한 설계와 복잡한 실패를 위해서도 프로세스 환경이 일관되게 유지됩니다 (영문). 이 제품은 압력, 유속, 온도, 가스 혼합물 (gas mixture) 과 같은 프로세스 매개변수를 정확하고 실시간 제어하여 매우 다양하고 강력한 자동화 시스템을 갖추고 있습니다. G03 은 다양한 에치 (etch) 및 애셔 (asher) 레시피를 활용하여 에칭 프로세스를 미세하게 제어하며, 모든 부품이 정확하게 형성되고 엄격한 설계 요구 사항을 충족하도록 보장합니다. 이 기계는 풀 필드 커패시브 커플 링 에처 (full-field capacitively coupled etcher) 및 애셔 (asher) 이며 다양한 재료와 프로세스를 처리 할 수있는 기능 세트를 포함합니다. 축 및 방사형 이방성 (radial anisotropy) 이 장치에 내장되어 단일 꼬리 및 오버 컷 임계 치수를 단단히 제어 할 수 있습니다. AXCELIS/FUSION G03 의 고급 안전 기능 (Advanced Safety Features of AXCELIS/FUSION G03) 은 운영자의 안전성을 항상 보장하므로 높은 위험 영역에서 생산할 수 있는 최적의 솔루션입니다. 통합 안전 기계는 온도 모니터링, 냉각수 시스템 및 긴급 종료 절차를 갖추고 있습니다. 또한, 이 기계는 가장 엄격한 안전 규정 (Safety Regulations) 을 준수하여 운영자에게 안전한 작업 환경을 제공합니다. FUSION G03은 매우 효율적이고 안정적이며 반복 가능한 에처 및 애셔입니다. 매우 복잡한 구성요소를 생산할 수 있는 탁월한 선택이며, 신뢰성 있는 자동화 툴 (Automation Tool) 은 원활하고 빠른 운영 프로세스를 보장합니다. 견고한 구성 및 통합 안전 시스템 (Integrated Safety System) 은 오늘날 까다로운 반도체 생산 환경에 적합합니다.