판매용 중고 AXCELIS / FUSION G03 #9187639

AXCELIS/FUSION G03 (AXCELIS/FUSION G03) 은 첨단 구성요소로 구성된 플라즈마 에처 및 애셔로, 정밀 에칭 및 애싱 기술을 제공하기 위해 설계되었습니다. 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 기능을 하나의 고성능 패키지에 결합한 컴팩트한 다용도 기계다. FUSION G03 은 다양한 업종과 분야에서 다소재 프로세스에 대한 까다로운 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 요구 사항을 해결하는 데 적합합니다. AXCELIS G03 (AXCELIS G03) 은 자력으로 점화되는 강력한 이온 소스 (ion source) 를 비롯하여 다양한 고급 기능을 제공하여 낮은 수준에서 높은 수준으로 확장할 수 있는 전력 밀도를 제공합니다. 이렇게 하면 프로세스 유연성이 향상되어 여러 재료 서피스에서 모든 에칭 요구사항을 해결할 수 있습니다. 고급 선형 이온 소스 설계는 또한 화학적 분포 (chemical distribution) 가 개선되어 더 균일하고 제어 가능한 에칭을 가능하게하여 최적의 에칭 결과를 달성합니다. 이 장치는 생산 실행에서 최대 30 nm/min의 속도로 빠른 에칭 속도를 낼 수 있습니다. G03에는 독특한 2 구역 공정 챔버 (two-zone process chamber) 가 장착되어 대규모 생산 실행에서도 우수한 식각 균일성을 보장합니다. 모듈식 설계를 통해 유지 보수 및 운영이 쉬워집니다. 습도 "센서 '" 시스템' 은 오염 을 방지 하는 데 도움 이 되고 대류 냉각 장치 는 처리 온도 를 점검 하는 데 도움 이 된다. 이 장치는 또한 다양한 모니터링 및 진단 시스템 (monitoring and diagnostic system) 과 통합되어, 사용자에게 에칭 프로세스에 대한 심층적인 이해를 제공합니다. AXCELIS/FUSION G03 은 수동 또는 자동 모드로 작동할 수 있으며, 원격 모니터링 및 제어 기능을 모두 지원합니다. 에칭 엔드포인트를 실시간으로 모니터링하는 "자동 엔드포인트 감지 (End-Point Sensing) '알고리즘을 비롯한 최신 처리 기술이 적용됐다. 또한, 디바이스는 프로세스 (process) 에 대한 자세한 정보를 제공하기 위해 다운로드할 수 있는 etch 결과 로그를 유지 관리합니다. 직관적인 UI 및 내장형 터치스크린 디스플레이를 포함한 사용자 친화적인 기능으로, 전문성이 낮은 직원에게는 FUSION G03이 적합합니다. 안전 기능에는 무단 프로세스 시작을 방지하기위한 이동식 키가 포함됩니다. 이 장치는 또한 먼지 (dust) 와 다른 입자들로부터 보호 (shield) 하는 강력한 보호 주택으로 제작되었습니다. AXCELIS G03 은 전반적으로 다양한 업종과 분야의 요구를 충족하도록 설계된 믿을 수 있는 고성능 플라즈마 에처 (plasma etcher) 와 애셔 (asher) 입니다. 혁신적인 설계는 광범위한 프로세스 기능을 제공하여, 반복 가능하고, 신뢰할 수 있는 결과를 제공합니다.