판매용 중고 AXCELIS / FUSION G03 #9187636

AXCELIS/FUSION G03 etcher/asher는 연구에서 제조에 이르기까지 광범위한 애플리케이션을 위해 설계된 고급, 산업 정밀 에칭 및 애싱 장비입니다. 이 시스템은 고품질, 고밀도 제품 제조를 위한 높은 정확성과 반복성을 제공하도록 설계되었습니다. FUSION G03 (FUSION G03) 은 유연성과 다양한 프로세스 기능을 갖춘 완벽한 기능으로, 다양한 애플리케이션의 요구 사항을 충족할 수 있습니다. AXCELIS G03 은 높은 정확성과 반복성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 기계는 정교한 모션 컨트롤 툴 (motion control tool) 과 진공 펌프가 장착 된 정밀 진공실로 구성됩니다. 이것은 반복 가능하고 일관된 에칭 및 애싱 결과를 보장합니다. G03에는 에칭 프로세스를 더욱 향상시키기 위해 가스 증착 소스가 장착되어 있습니다. AXCELIS/FUSION G03 은 사용자에게 친숙한 인터페이스를 통해 제어되며, 매개변수를 설정하고, 에칭/재싱 시간을 모니터링하고, 실시간 피드백을 제공할 수 있습니다. FUSION G03의 정밀 챔버 (precision chamber) 는 샘플 오염을 줄이고 에칭 및 애싱 프로세스 전반에 걸친 꾸준한 염기압을 유지하도록 설계되었습니다. FUSION 독점 EtchFlux (TM) 기능은 가스 소비량이나 히터 전력을 증가시키지 않고 매우 미세한 단계의 복잡한 기하학을 에칭합니다. 이를 통해 에칭 및 애싱 결과를 더 잘 제어 할 수 있습니다. AXCELIS G03 은 다양한 프로세스 기능을 제공합니다. 광범위한 재료 에치 (etch) 애플리케이션에 대한 부식 성, 고귀한, 유해 가스를 포함하여 여러 에칭 및 애싱 가스와 호환됩니다. 또한, 고감도 온도 제어는 매우 높은 수준의 반복 가능성을 허용하여 에칭 오류 (etching error) 를 최소화합니다. 산업 수준의 기능에도 불구하고 G03은 직관적이고 사용자 친화적입니다. 용도에 따라 샘플 크기 (밀리미터 ~ 수백 밀리미터) 로 사용할 수 있습니다. 또한 강력한 진단 (Diagnostics) 패키지가 장착되어 있어 신속하게 문제를 파악하고, 적시에 자산을 백업하고 실행할 수 있습니다. 전반적으로 AXCELIS/FUSION G03은 높은 정밀도, 반복성 및 유연성을 갖춘 고급 etcher/asher입니다. 높은 정확도의 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스에 이상적인 선택이며, 산업 및 연구 응용 분야에 적합합니다.