판매용 중고 AXCELIS / FUSION ES3 #293822281

AXCELIS/FUSION ES3 etcher/asher는 Ultratecxa ™ 및 Accubond ™ 웨이퍼를위한 완전 자동 카세트 대 카세트 기판 처리 시스템을 갖춘 고급 고급 에치 장비입니다. FUSION ES3은 완전하게 자동화된 웨이퍼 전송 장치 (Wafer Transfer Unit) 를 통해 최고 수준의 프로세스 반복성과 안정성을 제공하면서 매우 높은 수율을 달성합니다. AXCELIS ES3 은 호환 가능한 높은 처리량 감수기 설계로 인해 처리량이 높아집니다. 서셉터 설계에는 RS36 및 RS46 슬롯 구성의 4 중주로 완성 된 상단 (upper stage well) 형상이 있습니다. 이 변수들은 전반적으로 개선 된 에칭 (etching) 과정에 기여하여 입자 크기가 크게 감소된 재료 제거를 가능하게합니다. 또한 ES3 etcher/asher는 etch 프로세스와 관련하여 뛰어난 매칭을 제공합니다. 에치 레이트의 이러한 균일성은 더 높은 수준의 반복 성과 제어를 가능하게합니다. 에치 균일성은 4 개의 코너 오프셋과 8 개의 미드 필드 포토 셀 센서를 사용하여 모니터링됩니다. 이 모니터링 시스템은 전체 에칭 프로세스를 매우 세밀하게 제어합니다. AXCELIS/FUSION ES3 etcher/asher는 독점 프로세스 제어 소프트웨어로 구동됩니다. 이 소프트웨어는 수많은 에칭 (etching) 프로세스에 대한 중앙 집중식 제어 및 데이터 관리를 제공하며, 여러 사용자가 공유 프로세스 데이터를 액세스할 수 있습니다. 이 플랫폼을 통해 고객은 자신의 프로세스를 만들거나, 다른 기존 프로세스에서 매개변수를 개발하여, 전례없는 에치 챔버 (etch chamber) 수정 및 튜닝을 제공할 수 있습니다. FUSION ES3 etcher/asher는 안전을 염두에두고 설계되었습니다. 완전 밀폐된 진공 환경에 보관되어 있으며, 액세스 도어 (access door) 와 탈착식 배기 포트가 완비되어 있습니다. 이 격리 도구 (Containment Tool) 는 에칭 프로세스에서 유해한 부산물이 방출되는 것을 방지하고, 작업자와 장비를 유해가스나 물질로부터 보호하기 위해 설계되었습니다. 전반적으로 AXCELIS ES3 etcher/asher는 고급 고 처리량 반도체 에칭 및 애싱 자산입니다. 감수기 설계는 직관적이고 인체 공학적이며, 에칭 (etching) 과정에서 더 큰 반복성과 제어를 가능하게한다. 광범위한 프로세스 지원, 안전 (Safety) 기능, 편리한 운영 제어 (Operation Control) 모델을 통해 안정적이고 효율적인 에칭 장비를 원하는 사용자에게 적합한 옵션을 제공합니다.