판매용 중고 AXCELIS / FUSION ES3 #293802351

AXCELIS/FUSION ES3 etcher/asher는 플라즈마 에칭, 플라즈마 애싱 및 기타 관련 프로세스에 최첨단 기술을 제공하는 통합 솔루션입니다. 프로세스 화학을 제어하는 유명한 플랫폼 인 FUSION RF 생성기와 FUSION ES3 에처/애셔 챔버의 조합입니다. AXCELIS RF 생성기는 에칭 및/또는 애쉬 프로세스를 위해 300MHz 펄스 RF 소스를 자랑합니다. 광범위한 전력/시간 제어 (time control) 모드를 통해 프로세스를 정확하게 제어하고 균일하게 제어할 수 있습니다. RF 생성기에는 2 개의 독립 주파수 대역에서 전력을 제어하도록 구성 가능한 혁신적인 이중 주파수 (dual-frequency) 제어 장비가 장착되어 있습니다. 이 기능은 최적화된 프로세스 균일성을 보장하며, 생성기가 프로세스 조건의 모든 변화에 신속하게 대응할 수 있도록 합니다. AXCELIS ES3 etcher/asher 챔버는 2 개의 공정 챔버와 통합 전송 시스템의 조합입니다. 에처 챔버 (etcher chamber) 는 시간 제어 프로세스와 큰 가스 흐름 기능을 갖추고 있으며, 에칭 프로세스를 완벽하게 제어합니다. 애셔 챔버 (asher chamber) 는 산소 대기에서 동적 산화를 사용하여 웨이퍼에서 유기물을 빠르게 제거합니다. 향후 유연성과 확장이 가능한 확장 포트 (expansion port) 로 설계되었습니다. 통합 전송 장치 (Integrated Transfer Unit) 는 높은 처리량과 생산성을 보장하도록 설계된 로봇 암 (Robot Arm) 과 셔틀 (Shuttle) 로 구성됩니다. ES3 에처/애셔 (etcher/asher) 는 신뢰할 수 있고 강력한 기계로 에치 프로세스와 애쉬 프로세스 모두에 대해 일관성 있고 균일 한 결과를 제공합니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 사용하기 쉽고 생산성을 극대화할 수 있습니다. 이중 주파수 제어 도구 (Dual-Frequency Control Tool) 는 프로세스의 정확한 제어를 보장하며 저렴한 비용으로 정확한 에칭 및 재싱을 지원합니다. 이 통합 솔루션은 사용자에게 완벽한 에칭/애싱 (etching/ashing) 솔루션을 제공하여 우수한 결과를 얻기 위해 필요한 모든 것을 제공합니다.