판매용 중고 AXCELIS / FUSION ES3 #293616813

AXCELIS/FUSION ES3는 FUSION Technologies에서 설계 및 제조 한 고급 etcher/asher 장비입니다. 습식 및 건식 에치/애쉬 공정에서 고급 에치/애쉬 기능을 제공합니다. FUSION ES3은 고유한 듀얼 챔버 (dual-chamber) 설계를 통해 다양한 etch/ash 매개변수를 빠르고 쉽게 변경할 수 있습니다. 시간당 최대 35 웨이퍼의 속도로 처리량이 높습니다. AXCELIS ES3 은 고급 EPICAL (e-Process Image-Controlled Ashing) 기술을 통해 수작업 없이 높은 정밀도로 etch/ash 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. EPICAL은 웨이퍼 이미징, 매개변수 최적화, 정교한 프로세스 제어 장치를 결합하여 최적의 에치/애쉬 성능을 보장합니다. 이 기술은 특히 높은 화면 비율 (High Aspect Ratio), 높은 레이어 두께 (High Layer Thickness), 큰 기능 (Feature Size) 과 관련된 응용 프로그램에서 뛰어난 반복 능력을 갖춘 강력한 프로세스 실행을 제공하는 것으로 입증되었습니다. ES3는 사용 환경 측면에서도 다재다능합니다. 다양한 벨트 구성, 진공 연결, 하드웨어 설정으로 구성할 수 있습니다. 이 머신에는 직관적이고 간편한 사용자 환경을 제공하는 대용량, 동적 터치스크린 (touchscreen) 사용자 인터페이스도 함께 제공됩니다. 이 화면은 탐색이 쉽고, 운영자에게 다양한 프로세스와 레시피 (레시피) 를 빠르고 편리하게 액세스할 수 있도록 설계되었습니다. AXCELIS/FUSION ES3 또한 뛰어난 안전성과 에너지 효율성을 제공합니다. 이 도구는 에셋의 전원 출력을 지속적으로 모니터링하고 자동으로 변조하는 특별히 설계된 E-Safe (E-Safe) 기능을 갖추고 있습니다. 이 기능은 정확한 에치/애쉬 레벨과 과도한 에칭 위험이 매우 낮습니다. 고에너지 공정 중에도 과열 방지 (overheating) 및 모델 성능을 유지하기 위한 보호 장치 (Safeguard) 도 마련되어 있습니다. 마지막으로 FUSION ES3는 강력한 프로세스 제어 기능으로 유명합니다. 이 장비는 에치/애쉬 (etch/ash) 프로세스, 레시피, 도량형 데이터 및 기타 프로세스 매개변수를 실시간으로 추적하는 데 사용할 수 있는 고유한 프로세스 모니터 (Process Monitor) 를 갖추고 있습니다. AXCELIS ES3 는 데이터 분석, 데이터 스토리지 및 보고를 위한 다양한 옵션도 제공합니다. 이 모든 기능을 통해 ES3 는 오늘날 시장에서 가장 발전된 etcher/asher 중 하나입니다.