판매용 중고 AXCELIS / FUSION 202 MCU #9399077
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AXCELIS/FUSION 202 MCU는 FUSION Technologies에서 개발하고 반도체 산업을위한 다양한 구성 요소 생산에 사용되는 etcher/asher 장비입니다. 이 장치는 대용량 마이크로 일렉트로닉스 생산에 적합한 올인원 (All-in-one), 작동하기 쉽고 설치가 간편한 etcher/asher 시스템입니다. FUSION 202 MCU는 포장 기판, 유연한 회로, 유기 및 하이브리드 패키지와 같은 마이크로 일렉트로닉스의 정밀하고 대용량 에칭을 제공하도록 설계되었습니다. 작은 설치 공간 (약 7.2 x 12.2 피트) 과 모듈식 설계로 모든 생산 라인에 쉽게 통합 할 수 있습니다. Twin 2000 Ionizing Cluster Tools 기술을 사용하여 각 프로세서에 최대 4 개의 프로세서를 설치하여 최대 8 개의 프로세스 스테이션을 지원합니다. 이 장치는 다양한 프로세스 기능을 제공하도록 구성될 수 있으며, 개발자와 엔지니어가 특정 운영 요구 사항을 충족할 수 있게 해 줍니다 (영문). 에처/애셔 (etcher/asher) 에는 개발 제품군 및 비전 (Vision) 소프트웨어를 포함한 다양한 소프트웨어 툴이 포함되어 있으며, 사용자는 저장된 프로세스 레시피 및 트랙 에칭/애싱 통계를 사용할 수 있습니다. 이 기계는 또한 여러 프로세스 스테이션이있는 자동 프로덕션 라인 (production line) 에서 사용할 수 있으며, 그 사이에 웨이퍼를 교환합니다. AXCELIS 202MCU는 안전성과 신뢰성을 염두에 두고 제작되었습니다. 그것은 이중 벽 주택을 특징으로하며, 긴 에칭/애싱 세션에서 안전하고 안정적입니다. 일련의 센서와 게이트웨이 (gateway) 가 장착되어 있으며, etcher/asher 내부의 상태를 모니터링하고 환경 변화에 대응합니다. 프로세스 내 모니터링 (in-process monitoring) 기능은 여러 개의 추가 프로세스 제어 모듈이 있을 때 더욱 향상됩니다. 202MCU는 마이크로 일렉트로닉스 에칭/애싱 (etching/ashing) 에 대한 최신 SEMI 표준을 충족시키기 위해 테스트되고 검증되었으며, 마이크로 일렉트로닉스에 대한 강력하고 안정적인 생산 기능을 제공합니다. "에칭 '과" 애싱' (ashing) 의 뛰어난 성능 은 물론, 통합 과 운영 의 용이성 도 대규모적 으로 "마이크로일렉트로닉 '을 제조 하기 위한 완전 한 선택 이 된다.
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