판매용 중고 AXCELIS / FUSION 200 MCU #9399673

AXCELIS/FUSION 200 MCU는 반도체 산업에 사용되는 고급 마이크로 프로세서 기반 자외선 노출 장비입니다. 이 시스템은 높은 처리량과 유연성으로 향상된 프로세스 제어를 용이하게 합니다. 노출 장치에는 특허를받은 HEM (Hydraulic Emission Module) 및 빠르고 정확하며 반복 가능한 기판 위치를 제공하는 SSSP (Smart Seat Substrate Positioning Machine) 가 포함됩니다. 이 도구는 또한 HEM 및 SSSP 사이에 여러 기판을 전달 할 수있는 RTM (Robotic Transport Module) 을 특징으로합니다. 유압 방출 모듈 (Hydraulic Emission Module) 은 자산의 기판 정렬, 광도 제어 및 용량 제어를 처리하는 특수 구성 요소 세트입니다. 그것 은 6 개 의 초점 "칼럼 '의 자외선 을 발산 하여 광원 에 기질 을 균일 하게 노출 시킬 수 있다. 스마트 시트 기판 위치 모델 (Smart Seat Substrate Positioning Model) 을 사용하면 각 노출 펄스 동안 기판을 반복적으로 정렬할 수 있습니다. 고급 알고리즘은 빠르고 정확한 피드백 루프 (feedback loop) 를 실행하여 기판과 마스크 사이의 접촉을 최적화합니다. 이것은 비전 센서, 레이저 프로브, 미세한 Z축 조정 및 기판 설정 매개변수의 조합을 사용합니다. 로봇 전송 모듈 (Robotic Transport Module) 은 HEM 및 SSSPS에서 기판을 로드하고 언로드하여 기판 처리 프로세스를 단순화합니다. ··· 그것 은 기판 의 "컨베이어 '장비 전달 을 가능 하게 하여, 노출 과정 의 각 주기 간 의 시간 지연 을 감소 시킨다. FUSION 200 MCU 는 데이터 분석, 프로세스 제어, 최적화를 위한 완벽한 소프트웨어 툴을 제공합니다. 레시피 (recipe) 와 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 저장하고 표시하는 기능을 제공하며 여러 노출의 데이터로 보고서를 생성할 수도 있습니다. AXCELIS 200 MCU는 또한 다양한 기판 크기, 형상 및 재료를 위해 설계되었습니다. 고급 광학 설계 (Advanced Optical Design) 를 통해 기판 재료의 다양한 두께 및 변화하는 프로세스 조건을 수용 할 수 있습니다. 또한, 수명 주기 효율이 향상되어 최대의 생산성을 제공합니다. 전반적으로, 200 MCU 는 고급, 높은 처리량, 유연한 노출 시스템으로, 사용자에게 프로세스를 더욱 효과적으로 제어하고 효율성을 높여줍니다. 고급 구성 요소 및 소프트웨어 툴을 통해 사용자는 노출 프로세스 최적화 (Optimized Imposure Process) 를 통해 정확한 제어 (Control) 및 노출 프로세스 최적화 작업을 수행할 수 있습니다.