판매용 중고 AXCELIS / FUSION 200 MCU #9257180
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AXCELIS/FUSION 200 MCU (Multi-Cavity UVC) 는 집적 회로 제작에 사용되는 매우 정밀한 사진 리토 그래피 노출 장비입니다. 이 시스템은 400W 아크 램프가 있는 초고속 Xenon 플래시 램프를 사용하여 빠르고 정확하게 노출됩니다. 이 장치에는 정밀도, 해상도, 선 너비 정확도 및 감소를 극대화하는 고급 광학이 있습니다. 이분법적 거울, 응축 "렌즈 '및" 필터' 는 모두 고도 의 재료 와 최고 의 질 의 표준 으로 제조 된다. FUSION 200 MCU 노출 머신에는 고유 한 기능이 있으며, 이는 노출 당 1ms의 매우 빠른 노출 시간으로, 매우 미세한 해상도와 뛰어난 처리량을 제공합니다. 이 제품은 빠르고 정밀도가 높은 단계이며, 자동 정렬 및 등록을 통해 작업을 반복할 수 있습니다. 이 툴은 편리한 사용자 인터페이스를 통해 에셋을 손쉽게 탐색하고 작동할 수 있도록 설계되었으며, 이를 통해 AXCELIS 200 MCU 는 사용자 친화적이며 인체 공학적으로 사용할 수 있습니다. 이 인터페이스에는 광범위한 워크플로우 기능을 제공하는 레시피 관리 기능도 포함되어 있습니다. 이 모델은 또한 와퍼 (wafer) 와 기판을 노출 장비에 로드하는 로봇 엔진 (robotic engine) 과 마스크 (mask) 와 기판을 정확하게 배치하고 정렬하는 하드웨어 계층 (hardware layer) 을 사용합니다. 200 MCU는 빔스플리터, 초고진공, 초저점도 및 저대비 조절기의 최신 개발을 활용하여 반복 가능한 노출 정확도를 제공합니다. 또한 마스크 마크가 적은 전체 칩 정렬을위한 고해상도 필름 정렬기가 있습니다. 이 시스템에는 개발 시간을 줄이고 CAD 및 배치 모드 (Batch Mode) 와 같은 포괄적인 소프트웨어 패키지 (예: 도식, 레이아웃, 노출 제어 기능) 를 제공하는 자동 에지 비드 (edge bead) 측정 장치도 있습니다. AXCELIS/FUSION 200 MCU는 정확한 에칭을 위해 레이저 스크리빙 장비와 함께 사용할 수도 있습니다. 전체적으로, FUSION 200 MCU 는 매우 안정적이고 첨단 노출 머신으로, 최고 수준의 정확성과 정확도를 제공하며, 제조업체가 우수한 품질의 집적 회로 (integrated circuit) 제품을 제공할 수 있습니다.
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