판매용 중고 AVIZA / SPTS Omega i2L #293647178
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ID: 293647178
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2007
ICP Etcher, 8"
ICP Chamber
ESD Chuck
ESC
ADVANCED ENERGY Paramount 1513 RF Generator, 1.5 kW
HiLight 133 RF Generator, 300 W
Spectrum view / End point detector
Gases:
BROOKS AUTOMATION MFC
N2 (Purge)
Ar
N2
O2
O2
CHF3
CF4
BCL3
CL2
Missing parts:
CU500 Chiller
Dry pump
Panels
ISOPOD Power
2007 vintage.
SPTS Omega i2L은 다양한 재료의 높은 진공 처리를 위해 설계된 고급 etcher/asher입니다. 다양한 프로세스 옵션 (process options) 을 갖춘 강력하고 유연한 에칭 (eching) 장비를 통해 고객은 다양한 재료에서 다양한 복잡한 기능을 빠르고 안정적으로 생성할 수 있습니다. 시스템의 핵심은 다양한 에치 가스 (etch gase) 가스가있는 강력한 단일 웨이퍼 진공 (single-wafer vacuum etcher) 소스로, 에치 프로세스 선택에서 높은 수준의 유연성을 제공합니다. 에칭 소스는 3 ~ 200 nm/min의 큰 에치 레이트 범위를 가지며, 반응성 이온 에칭 (RIE), 등방성 에칭 및 깊은 이방성 에칭을 수행 할 수 있습니다. 광범위한 잘 정의 된 에치 가스 (etch gase) 를 지원하여 대상 재료에 맞춘 에치 프로세스를 허용합니다. Omega i2L에는 단일 웨이퍼 애셔도 있습니다. 따라서 효율성 및 생산성 향상을 위해 동일한 장치에서 에칭 (etching) 프로세스와 애싱 (ashing) 프로세스를 모두 완료할 수 있습니다. 애셔는 고품질 플라즈마 소스를 특징으로하며 1000-에서 600-까지 공정을 세척 할 수 있습니다. 또한 산소 흐름에 대한 자동 제어 (automated control over oxygen flow) 기능을 제공하여 대상 재료에 따라 재싱 프로세스를 쉽게 조정할 수 있습니다. SPTS 오메가 i2L (SPTS Omega i2L) 에는 etcher/asher 외에도 전자 터보 펌프와 2 개의 황삭 펌프가 장착 된 통합 진공기가 포함되어 있어 높은 수준의 프로세스 안정성과 성능을 제공합니다. 이를 통해 사용자는 다양한 챔버 (chamber) 크기의 고진공 프로세스 조건을 달성하여 최적의 프로세스 결과를 얻을 수 있습니다. 요약하면, 오메가 i2L (Omega i2L) 은 다양한 프로세스 옵션을 제공하는 고급 에처/애셔 (etcher/asher) 로, 다양한 재료에서 복잡하고 복잡한 기능을 빠르고 안정적으로 생성 할 수 있습니다. 또한 통합 진공 도구 (Integrated Vacuum Tool) 와 다양한 자동화 프로세스 (Automated process) 가 포함되어 있어 높은 수준의 성능과 프로세스 안정성을 제공합니다. 광범위한 크리티컬 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 애플리케이션에 이상적인 옵션입니다.
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