판매용 중고 AVIZA Celsior #293821839
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ID: 293821839
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
Atomic Layer Deposition (ALD) system, 12"
No mechanical hand
(4) Chambers
2006 vintage.
AVIZA CELSIOR는 정확하고 안정적인 프로세스 결과를 제공하기 위해 설계된 고급 에칭/애싱 머신입니다. 주로 전자, 화학 및 생의학 산업에서 사용됩니다. 기계는 저압 응축 에칭과 고온 애싱 공정의 조합을 사용합니다. 결과적으로 0.1% wt 미만이됩니다. 프로세스의 총 변형. 즉, 높은 신뢰성과 향상된 프로세스를 구현하고, 정상적으로 가능한 것보다 높은 정밀도 결과를 얻을 수 있습니다. CELSIOR에는 더 높은 가스 흐름 안정성 및 등온 에칭 조건을 제공하는 PFA 내부 챔버가 장착되어 있습니다. PFA 재료는 또한 부식에 강합니다. 특허받은 가스 제어 (gas control) 장비를 통해 에칭 프로세스를 최상의 제품 웨이퍼에 최적화할 수 있습니다. 이 시스템에는 에칭 시작 전 설정 시간을 단축하는 QuickStart (tm) 자체 테스트 기능도 포함되어 있습니다. 시스템은 내장 미터를 사용하여 원격으로 모니터링할 수도 있습니다. 이 기능을 사용하면 프로세스 온도 및 조건을 볼 수 있으며, 잠재적인 문제를 신속하게 파악하고 수정할 수 있습니다 (영문). 또한 자동 타이머 장치 (Automatic Timer Unit) 를 내장하여 에칭 (Etching) 및 애싱 (Ashing) 프로세스를 반복하고 신뢰할 수 있고 반복 가능한 결과를 제공합니다. AVIZA CELSIOR는 또한 완전히 자동화되어 운영자 오류의 위험을 제거합니다. 가장 높은 온도 주기 (host available temperature cycle) 와 호환되므로 가장 어려운 프로세스에도 적합합니다. 셀시어 (CELSIOR) 는 또한 안전 인터 록크 머신 (Safety Interlock Machine) 을 내장하고 있으므로 우수한 수준의 안전성을 제공합니다. 즉, 에칭 또는 애싱 스텝이 실패하면 유독 가스 누출 방지 및 기타 잠재적 인 위험을 자동으로 차단합니다. AVIZA CELSIOR는 탁월한 프로세스 성능을 제공하는 안정적이고 정확한 에칭/애싱 도구입니다. 간단하고 작동이 쉽고 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업에 적합합니다. 섭씨 (CELSIOR) 는 신뢰할 수 있고 정밀한 에칭 및 애싱 머신을 찾는 사람들에게 이상적인 선택입니다.
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