판매용 중고 AURION ANLAGENTECHNIK Kivos CPS 500 #293759408

AURION ANLAGENTECHNIK Kivos CPS 500
ID: 293759408
빈티지: 2002
Reactive Ion Etcher (RIE) 2002 vintage.
AURION ANLAGENTECHNIK Kivos CPS 500은 반도체 제조, 고급 포장, 연구 개발 응용 분야의 다양한 기판의 정확하고 효율적인 처리를 위해 설계된 최첨단 etcher/asher 장비입니다. 이 정교한 도구는 혁신적인 기술과 고급 기능을 결합하여 뛰어난 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 성능과 높은 반복성 및 프로세스 제어를 제공합니다. 키보스 CPS 500 (Kivos CPS 500) 의 핵심에는 고급 플라즈마 에칭 및 애싱 기능이 있으며, 이는 기판에서 박막, 잔류 물, 오염 물질 및 포토 esist 레이어를 정확하고 균일 하게 제거 할 수 있습니다. 이 시스템은 고밀도 플라즈마 소스 (high-density plasma source) 와 고급 공정 화학 (advanced process chemistry) 을 사용하여 매우 선택적이고 등방성 에칭/애싱 (ashing) 을 달성하여 기질 표면의 섬세한 구조와 특징의 무결성을 보장합니다. AURION ANLAGENTECHNIK Kivos CPS 500의 주요 하이라이트 중 하나는 다용도 공정 챔버 설계로, 다양한 프로세스 가스, 압력, 온도, 전원 설정을 특정 에칭 및 애싱 요구 사항에 맞게 쉽게 제어 및 최적화 할 수 있습니다. 이러한 유연성을 통해 사용자는 장치를 조정하여 각기 다른 재료 (material) 와 장치 구조의 고유한 프로세스 요구를 충족시켜 프로세스 효율성 (process efficiency) 과 처리량 (throughput) 을 극대화할 수 있습니다. Kivos CPS 500은 또한 사용자 친화적 인 인터페이스와 직관적 인 소프트웨어 제어 기능을 제공하여 운영자가 에칭/애싱 (etching) 프로세스를 손쉽게 프로그래밍하고 모니터링할 수 있습니다. 이 시스템은 고급 프로세스 모니터링 및 제어 알고리즘, 실시간 데이터 시각화, 자동 엔드포인트 감지 (endpoint detection) 기능을 통합하여 일관되고 안정적인 프로세스 결과를 보장합니다. 또한 AURION ANLAGENTECHNIK Kivos CPS 500에는 다양한 안전 기능 및 인터 록이 장착되어 있어 사용자 및 작업 중 도구를 보호합니다. 이 자산은 고품질 구성 요소와 소재 (material) 로 설계되어 장기적인 안정성을 보장하며 유지 보수 요구 사항을 최소화하며, 사용자의 다운타임 및 운영 비용을 절감합니다. 키보스 CPS 500 (Kivos CPS 500) 은 웨이퍼, 평면 패널, 3D 구조 등 다양한 크기와 모양의 기판을 수용할 수 있으므로 반도체 산업 및 그 이상에서 다양한 응용 분야에 적합합니다. 고급 메모리 장치의 박막 에칭, MEMS 장치의 패턴, 포토 마스크 제조의 클리닝 기판, AURION ANLAGENTECHNIK Kivos CPS 500은 탁월한 성능과 다용성을 제공합니다. 전반적으로 Kivos CPS 500은 최신 반도체 프로세싱의 까다로운 요구 사항을 충족하기 위해 최첨단 기술, 고급 기능, 사용자 친화적 인 설계를 결합한 업계 최고의 etcher/asher 모델입니다. 고성능, 안정성, 유연성을 갖춘 AURION ANLAGENTECHNIK Kivos CPS 500은 다양한 어플리케이션에서 정확하고 효율적인 에칭 및 애싱 프로세스를 위한 포괄적인 솔루션을 제공합니다.
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