판매용 중고 ATIS Tiwn station #9292738

ATIS Twyn Station은 재료 연구 실험실에서 사용하도록 설계된 고속 에칭/애싱 기기입니다. 평면 및 3D 샘플을 모두 세밀한 균일 한 기판으로 변환하는 데 사용되며, 추가 분석에 사용할 수 있습니다. ATIS 트윈 스테이션 (ATIS Twin Station) 은 2 개의 웨이퍼를 병렬로 처리하는 기능을 포함하여 기존의 에칭/애싱 기기에 비해 몇 가지 뛰어난 이점을 제공합니다. 이렇게 하면 기기 주기 시간이 크게 단축되어 샘플 처리를 빠르게 돌릴 수 있습니다. 동일한 웨이퍼에서 에치 (etch) 와 애싱 (ashing) 단계 모두를 동시에 생산할 수 있으며, 초고밀도 장치에 이상적인 단일 단계 처리 솔루션을 제공합니다. 또한 ATIS 트윈 스테이션 (ATIS Twin Station) 에는 표준 에칭/애싱 프로세스에 효율성과 재생성을 더하는 확장 자동화 기능이 장착되어 있습니다. 여기에는 프로세스 매개변수, 오프사이트 현미경 처리, 자동 리프트-오프 (automated lift-off) 를 통한 샘플 준비 등의 정밀 또는 재교정 기능이 포함됩니다. 일관되고 균일 한 처리 결과를 얻기 위해 ATIS 트윈 스테이션 (ATIS Twin Station) 에는 광범위한 온도 및 압력 설정을 수용 할 수있는 진공실이 장착되어 있습니다. 방은 또한 편리한 샘플 로딩 시스템 (sample loading system) 과 내부 난방 코일 (internal heating coil) 을 갖춘 조절 가능한 교반 메커니즘을 사용합니다. 또한 ATIS Twin Station에는 처리 중 가스 흐름, 온도, 압력 및 챔버 청소를 모니터링하기위한 고급 진단이 포함되어 있습니다. 따라서 프로세스 노출이 적고, 기술 제어가 일관성 있게 이루어집니다. 전반적으로 ATIS 트윈 스테이션 (ATIS Twin Station) 은 정교한 에칭/애싱 장치로, 연구 또는 제조 실험실에서 사용하기에 적합합니다. 고급 자동화 및 프로세스 모니터링 (automation and process monitor) 기능은 뛰어난 재현성을 제공하는 반면, 2 웨이퍼 병렬 처리 방법은 턴어라운드를 줄이고 최종 제품의 생산량을 향상시킵니다.