판매용 중고 AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY CIRIE-200 #9059484
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ID: 9059484
웨이퍼 크기: 2 to 8
빈티지: 2012
ICP-RIE system, 2"-8"
Specifications:
Chamber Materials: Anodized Al 6061T6
ICP Power: 1000 ~ 2500 W (Option)
Bias Power: 300 ~ 600 W (Option)
Wafer Numbers / Size: (13 - 1) pcs
Gas Lines with MFCs: 6 Standard Lines
Plasma Density: > 1E+11 ions/cm3
Reactor Base Pressure: < 1E-6 Torr
Process Pressure Range: From 0.1 to 100 mTorr
Substrate Cooling (Option): Chiller ( 5 ~ 35℃), or (RT-150℃)
Pumping System: Turbomolecular Pump + Rotary Pump or Dry Pump (Option)
Non-Uniformity: 5% for WIW, WTW and RTR
Load/Unload (Option): Vacuum Robot Transport
Load-Locks Pumping System(Option) : Rotary Vane Pump
Load-Locks base Pressure(Option) : < 1E-2 Torr
Automatic Control System: Industrial PC with Graphic Control Interface
Power Requirement: AC220V, 3 phase, 60 Hz, 100A,
Gas Inlet Requirement: 1.2 kgw/cm2
CDA Requirement: 5 kgw/cm2
Water Requirement: 1.5 kgw/cm2, 20。, 25 l/min
2012 vintage.
AST/ADVANCED Equipment TECHNOLOGY CIRIE-200은 전문 엔지니어링 및 전기 애플리케이션의 요구를 충족하도록 설계된 프리미엄 에칭 머신입니다. 이 최첨단 장치는 매우 정확하고 정밀하게 빠르고 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. AST CIRIE-200은 고급 설계 및 건설 원칙을 활용하여 각 작업을 효율적으로 실행합니다. 가장 인상적인 기능 중 하나는 자동화된 프로세스 (automated process) 가 수작업 없이 실행되므로, 프로세스를 더욱 안정적으로 수행할 수 있다는 것입니다. 기계에는 강력한 모터 (motor) 와 유연한 드라이브 트레인 (drive train) 이 장착되어 절삭 속도, 블레이드 압력, 토크를 자동으로 조정할 수 있습니다. 보다 뛰어난 모션 제어 (motion control) 는 정밀도와 정확도가 시간이 지남에 따라 일관된 수준으로 유지됩니다. ADVANCED System TECHNOLOGY CIRIE-200은 또한 석면이 없는 작동을 허용하는 독특한 공기 제거 작업을 특징으로합니다. 이 기능은 연산자와 제품을 위험한 먼지, 입자, 연기로부터 보호합니다. 이 기계는 또한 뛰어난 5 축 드라이브 유닛을 갖추고 있으며, 탁월한 정확도와 최고의 속도를 제공합니다. "스키빙 '" 테이블' 은 두께 가 ± .0002 "인치 '인 0.001" 인치' 에서 1.500 "인치 '로 도마 를 할 수 있다. 이것은 복잡하고 상세한 에칭에 이상적입니다. CIRIE-200은 인상적인 성능 외에도 다양한 고급 안전 기능 (Advanced Safety Features) 을 갖추고 있습니다. 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 쉽게 설치, 운영할 수 있으며, 정밀 자동 종료 (Automated Shutdown) 기능은 정확하고 안전한 작동을 보장합니다. 기계의 강력한 비상 정지 (Emergency Stop) 기능은 위험한 상황을 예방하고 운영자를 보호하는 데 도움이됩니다. AST/ADVANCED Machine TECHNOLOGY CIRIE-200 (AST/ADVANCED Machine TECHNOLOGY CIRIE-200) 은 전력 및 데이터 관리와 관련하여 모든 산업 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 이 기계는 안정적인 온도, 전압 모니터링 도구, 공랭식 수소 냉각 자산 (정밀 성능) 을 갖추고 있습니다. 이 기계는 또한 대용량 강철 랙 장착, 빠르고 쉬운 설치를 위한 모듈식 구성, 제품 관리를 위한 충분한 스토리지/제어 캐비닛을 갖추고 있습니다. 요약하자면, AST CIRIE-200은 전문 엔지니어 및 전기 응용 분야에 이상적인 에칭 머신입니다. 뛰어난 모션 컨트롤 (Motion Control) 및 공기 제거 (Air-purged) 작동은 빠르고 정확하며 안정적인 성능을 보장하며, 고급 안전 기능은 운영자와 제품을 안전하게 유지하는 데 도움이됩니다. 견고성 강화 (rugged steel) 구조, 공랭식 수소 냉각 및 온도 모니터링 모델로, 이 에칭 머신은 모든 산업 표준을 충족시킵니다.
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