판매용 중고 AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY CIRIE-200 #293758400

AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY CIRIE-200
ID: 293758400
ICP-RIE System.
AST/ADVANCED Equipment TECHNOLOGY CIRIE-200은 반도체 제조 및 기타 나노 기술 응용 분야에 대한 정밀 처리를 제공하기 위해 설계된 정교한 etcher/asher 시스템입니다. 이 고급 도구는 최첨단 기술과 기능을 통합하여 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스에 높은 유연성, 신뢰성 및 프로세스 제어를 제공합니다. AST CIRIE-200 장치에는 여러 공정 가스를 수용 할 수있는 다재다능한 챔버가 장착되어 있으며, 다양한 플라즈마 화학 물질을 전달하여 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 에서 III-V 화합물 및 유전체 필름과 같은 고급 재료에 이르기까지 기질에 대한 정확한 에칭 및 애싱 결과를 달성합니다. 이러한 유연성을 통해 사용자는 프로세스 조건에 따라 특정 장치 요구 사항 및 재료 속성을 충족할 수 있으며, 이를 통해 ADVANCED Machine TECHNOLOGY CIRIE-200 은 다양한 연구/운영 애플리케이션에 적합합니다. CIRIE-200 도구의 주요 특징 중 하나는 고급 플라즈마 소스 기술 (Plasma Source Technology) 으로, 처리 챔버 전체에서 효율적이고 균일 한 플라즈마 생성을 가능하게합니다. 이 자산은 고주파 RF 전력을 사용하여 안정적인 플라즈마 방전을 유지하며, 에칭/애싱 프로세스의 균일성과 일관성을 증진시킵니다. 이 고성능 플라즈마 소스는 프로세스 개발 및 생산 품질 제어에 필수적인, 안정적이고 반복 가능한 결과를 보장합니다. 또한 AST/ADVANCED Model TECHNOLOGY CIRIE-200 장비는 고급 프로세스 모니터링 및 제어 기능을 통합하여 가스 흐름 속도, 압력, 온도, RF 전력 등의 주요 매개변수를 실시간으로 조정할 수 있습니다. 이러한 제어 수준을 통해 사용자는 에치/애쉬 속도 (etch/ash rate), 선택성 (selectivity) 및 프로파일 제어 (profile control) 를 극대화하여 광범위한 디바이스 구조와 재료에 대해 정확하고 재현가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 안전성 및 신뢰성 측면에서, AST CIRIE-200 시스템은 운영자 보호 및 장치 무결성을 보장하기 위해 여러 개의 인터 락 (interlock) 및 안전 기능으로 설계되었습니다. 이 기계는 또한 강력한 진단 및 자가 점검 루틴 (self-check routine) 을 통해 유지 보수 및 문제 해결을 용이하게 하고, 다운타임을 최소화하고, 반도체 제조 설비 및 연구실에서의 생산성을 향상시킵니다. ADVANCED TOOL TECHNOLOGY CIRIE-200 자산에는 레시피 관리, 데이터 로깅, 원격 모니터링 기능을 지원하는 사용자 친화적인 인터페이스 및 소프트웨어 제어 모델이 제공됩니다. 이 직관적인 인터페이스를 통해 운영자는 복잡한 에칭/애싱 (etching/ashing) 프로세스를 손쉽게 프로그래밍하고 실행할 수 있으며, 최적화 및 문서화를 위해 프로세스 데이터를 분석 및 시각화합니다. 전반적으로 CIRIE-200은 반도체 처리 및 나노 기술 응용 분야에 탁월한 성능, 정밀, 다재다능성을 제공하는 최첨단 에처/애셔 (etcher/asher) 장비입니다. 고급 플라즈마 소스 기술, 프로세스 제어 기능 및 사용자 친화적 인 인터페이스를 갖춘 AST/ADVANCED System TECHNOLOGY CIRIE-200 (AST/ADVANCED System TECHNOLOGY CIRIE-200) 은 반도체 업계의 장치 제작 및 재료 처리 경계를 넓히려는 연구원들을 위한 포괄적인 솔루션입니다.
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