판매용 중고 AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY CIRIE-200 #192121
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AST/ADVANCED Equipment TECHNOLOGY CIRIE-200은 반도체 프로세싱과 같은 정확성과 정확성이 필요한 어플리케이션에서 일관되고 안정적인 에칭 및 애싱 결과를 제공하도록 설계된 고급 etcher/asher입니다. AST CIRIE-200 (AST CIRIE-200) 은 선형 빔 시스템에서 작동하여 높은 수준의 균일성과 신뢰성으로 정확하게 에칭하고 재를 만듭니다. 이 단위는 균일 한 이방성 특성 (anisotropic properties) 을 전달하고, 더 선명한 가장자리를 생산하면서 레이어 스택 오버 (stackover) 또는 재료 브릿지를 제거하므로 부드러운 구조를 보장합니다. ADVANCED Machine TECHNOLOGY CIRIE-200 (고급 기계 기술 CIRIE-200) 의 견고한 설계로 최대 8 "직경의 웨이퍼 당 최대 3 분의 에치 시간으로 높은 처리율을 달성 할 수 있습니다. 이 인상적인 처리량 (throughput) 기능은 선형 빔 도구 (Linear Beam Tool) 에 의해 활성화되며, 넓은 양의 재료의 요구가 충족되도록 광범위한 동적 에너지 전달 범위를 갖습니다. 이 자산은 화학적 부산물을 생성하지 않고 즉각적인 열 에너지를 제공하는 통합 나노 초 (sub-nanosecond) 펄스 발전기를 특징으로하여 연약한 재료 처리에 이상적입니다. CIRIE-200 (CIRIE-200) 은 매우 다재다능한 모델로, 다양한 온도와 두께의 여러 층의 재료를 가져올 수 있습니다. 이렇게 하면, 장비 가 여러 가지 "에칭 '매개변수 를 충족 시키기 위해 쉽게 보정 될 수 있기 때문 에 특수 한" 에칭' 과정 에 이상적 이다. 이 시스템은 직관적인 HMI (Human Machine Interface) 를 갖추고 있으며, 사용자에게 장치 작업에 대한 자세한 피드백을 제공하여 쉽게 작동하고 유지 관리할 수 있습니다. AST/ADVANCED Machine TECHNOLOGY CIRIE-200은 엄격한 안전 표준을 위해 제작되었으며, 공구 손상 또는 부상을 방지하기 위해 자동 안전 종료가 특징입니다. 자산은 인간과 부품 모두 잠재적 인 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 위험으로부터 안전합니다. 이 모델은 또한 전자 레인지 플라즈마 작동과 관련된 잠재적 위험을 줄이기 위해 이중 격리 기술 (double isolation technology) 을 갖추고 있습니다. 결론적으로, AST CIRIE-200은 엄청나게 발전된 etcher/asher이며, 높은 처리율로 일관되게 신뢰할 수있는 결과를 보장합니다. 이는 견고한 구성 및 다양한 교정 기능과 결합하여 모든 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 어플리케이션에 이상적인 선택이됩니다.
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