판매용 중고 AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY CIRIE-100 #9059485
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ID: 9059485
웨이퍼 크기: 2 to 8
빈티지: 2012
ICP-RIE system, 2"-8"
Specifications:
Chamber Materials: Anodized Al 6061T6
ICP Power: 1000 ~ 2500 W (Option)
Bias Power: 300 ~ 600 W (Option)
Wafer Numbers / Size: (13 - 1) pcs / (2"- 8")
Gas Lines with MFCs: 6 Standard Lines
Plasma Density: > 1E+11 ions/cm3
Reactor Base Pressure: < 1E-6 Torr
Process Pressure Range: From 0.1 to 100 mTorr
Substrate Cooling (Option): Chiller ( 5 ~ 35℃), or (RT-150℃)
Pumping System: Turbomolecular Pump + Rotary Pump or Dry Pump (Option)
Non-Uniformity: 5% for WIW, WTW and RTR
Load/Unload (Option): Vacuum Robot Transport
Load-Locks Pumping System(Option) : Rotary Vane Pump
Load-Locks base Pressure(Option) : < 1E-2 Torr
Automatic Control System: Industrial PC with Graphic Control Interface
Power Requirement: AC220V, 3 phase, 60 Hz, 100A,
Gas Inlet Requirement: 1.2 kgw/cm2
CDA Requirement: 5 kgw/cm2
Water Requirement: 1.5 kgw/cm2, 20。, 25 l/min
2012 vintage.
AST/ADVANCED Equipment TECHNOLOGY CIRIE-100은 에칭/애싱 기술의 혁신적인 개발입니다. 이 시스템은 요구 사항이 가장 까다로운 기업에게 최첨단 에칭/애싱 (etching/ashing) 기술을 제공합니다. 최첨단 기술은 정밀한 구조적 특징과 더불어 더 높은 정확성과 생산성을 제공합니다. AST CIRIE-100은 고급 프로세스로 보드와 패널을 하나의 단일 패스로 에치/애쉬 할 수 있습니다. 선택적 에치 깊이 (etch depth) 와 재료 제거 (material removal) 를 통해 매우 정확하고 반복 가능한 구조를 생성 할 수있는 다양한 공정 가스를 사용합니다. 고급 프로세스 설계를 통해 ADVANCED UnIT TECHNOLOGY CIRIE-100은 FR-4, Cem-3, Polyimide, Aluminum 등을 포함한 다양한 보드 및 패널 자료를 수용합니다. CIRIE-100 의 전동 높이 조정기 (Motorized Height Adjustment Machine) 는 다운타임을 최소화하면서 빠르고 간편한 공구 변경을 가능하게 합니다. 또한 고급 동작 제어 (Advanced Motion Control) 및 드라이브 에셋 (Drive Asset) 을 제공하는 고속 스캔 알고리즘으로, 에치 기능 해상도가 빨라집니다. 통합된 모듈식 (modular) 설계를 통해 다양한 통합 및 확장성을 고객의 요구에 맞게 조정할 수 있습니다. AST/ADVANCED Model TECHNOLOGY CIRIE-100 (AST/ADVANCED Model TECHNOLOGY CIRIE-100) 은 통합된 재순환 장비, 다양한 프로세스 요구를 충족하도록 구성할 수 있는 고급 프로세스 기능 등 다양한 추가 기능과 구성을 제공합니다. 사용자 친화적이고 직관적인 컨트롤러 인터페이스와 수동 (manual) 레시피와 프로그래밍 가능한 레시피를 모두 생성할 수 있는 기능이 있습니다. 시스템이 자동, 반자동 및 수동 모드로 실행됩니다. 또한 AST CIRIE-100 (AST CIRIE-100) 은 사고 손상 및 운영자 안전으로부터 장치를 보호하기 위해 다양한 고급 안전 기능을 제공합니다. 이러한 기능에는 통합 인터 록, NFPA 안전 준수 및 먼지 배출 기능이 포함됩니다. 이 기계는 CE 인증을 받았으며 UL (UL) 은 다양한 산업 분야에서 안전하게 사용할 수 있도록 지원합니다. 전반적으로 ADVANCED TOOL TECHNOLOGY CIRIE-100은 안정성과 효율성이 높은 고급 에칭/애싱 솔루션을 제공합니다. CIRIE-100 의 최첨단 (최첨단) 기능과 고급 (Advanced) 프로세스 기능을 통해 사용자는 정확성과 생산성을 높여 정확한 구조적 기능을 구현할 수 있습니다.
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