판매용 중고 AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY CEDE-100L #293757157
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AST/ADVANCED Equipment TECHNOLOGY CEDE-100L은 반도체 제조 및 연구 응용 프로그램에 사용되는 다양한 재료를 정확하고 효율적으로 처리하도록 설계된 고급형 etcher/asher 시스템입니다. 이 최첨단 툴은 다양한 기능과 기능을 제공하여, 고정밀도 및 신뢰성 있는 처리 (processing) 솔루션을 필요로 하는 업계에 필수적인 자산입니다. AST CEDE-100L에는 정교한 플라즈마 에칭 장치 (plasma etching unit) 가 장착되어 있어 에칭 프로세스를 정확하게 제어하여 균일하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 기계는 가공되는 물질의 특정 요구 사항에 따라 에칭 프로세스 매개변수를 사용자 정의하기 위해 플라즈마 화학, 가스 흐름 제어 (gas flow control) 및 RF 전원 변조 (power modulation) 의 조합을 사용합니다. 이 도구를 사용하면 균일성 (unifority) 과 선택성 (selectivity) 이 뛰어난 매우 정밀한 에칭 프로파일을 얻을 수 있으므로 포토레지스트 스트리핑, 서피스 클리닝, 재료 제거, 패턴 전송 등 다양한 응용 프로그램에 적합합니다. ADVANCED Asset TECHNOLOGY CEDE-100L (Advanced Asset TECHNOLOGY CEDE-100L) 의 주요 특징 중 하나는 고급 프로세스 챔버 설계로, 깨끗하고 안정적인 처리 환경을 보장하는 고성능 진공 모델을 통합한 것입니다. 이 장비에는 챔버 (chamber) 의 신속한 대피를위한 터보 분자 펌프 (turbo molecular pump) 와 에칭 프로세스 전반에 걸쳐 원하는 프로세스 조건을 유지하는 정확한 압력 제어 시스템 (pressure control system) 이 장착되어 있습니다. 이 견고한 챔버 설계는 오염을 최소화하고, 프로세스 반복성을 향상시키며, 긴 처리 작업 중에도 높은 수준의 신뢰성을 보장합니다. CEDE-100L은 고급 프로세스 챔버 (Process Chamber) 설계 외에도 플라즈마 생성 프로세스에 대한 정확한 제어를 제공하는 정교한 RF 전원 공급 장치 (Power Delivery Unit) 를 갖추고 있습니다. 이 기계는 고주파 RF 생성기 (High-Frequency RF Generator) 와 일치하는 네트워크 (Matching Network) 를 갖추고 있으며 RF 전원 수준을 정확하게 조정하여 전체 처리 영역에서 플라즈마 밀도와 균일성을 최적화합니다. 이는 큰 기판 또는 복잡한 패턴을 처리 할 때에도 일관되고 안정적인 에칭 성능을 보장합니다. 또한, AST/ADVANCED TOOL TECHNOLOGY CEDE-100L은 운영자가 쉽게 에칭 프로세스를 프로그래밍하고 모니터링할 수 있도록 사용자 친화적 인 인터페이스를 제공합니다. 이 에셋에는 실시간 데이터 시각화, 프로세스 모니터링, 오류 로깅 기능 등을 제공하는 직관적인 소프트웨어가 포함된 터치스크린 제어판 (Touchscreen Control Panel) 이 있습니다. 이 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 운영자는 새로운 프로세스를 신속하게 설정하고, 즉석에서 프로세스 매개변수를 조정하고, 처리 중에 발생할 수 있는 문제를 진단하여, 생산성을 높이고, 다운타임을 줄일 수 있습니다. 또한, AST CEDE-100L 은 확장성과 유연성을 염두에 두고 설계되었으며, 기존 프로세스 라인에 쉽게 통합되고, 광범위한 프로세스 화학 물질 (process chemistry) 과 호환됩니다. 이 모델은 가스배송 시스템, 웨이퍼 처리 (Wafer Handling) 메커니즘, 고급 프로세스 모니터링 툴 등, 다양한 옵션과 업그레이드를 통해 특정 애플리케이션 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 이러한 확장성과 유연성으로 인해 ADVANCED Equipment TECHNOLOGY CEDE-100L은 반도체, MEMS, 광학 및 나노 기술 산업의 다양한 에칭 및 애셔 어플리케이션에 대한 다재다능한 솔루션이되었습니다. 결론적으로, CEDE-100L은 광범위한 재료 처리 응용 프로그램에 대한 탁월한 정밀도, 안정성, 유연성을 제공하는 고급형 etcher/asher 시스템입니다. 고급 공정 챔버 설계, 정교한 RF 전원 공급 장치, 사용자 친화적 인터페이스 및 확장성 기능을 갖춘 AST/ADVANCED Machine TECHNOLOGY CEDE-100L은 고성능 에칭 솔루션을 필요로 하는 업계를 위한 필수 도구입니다.
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