판매용 중고 ARC ENERGY CHES400 #293667292

ARC ENERGY CHES400은 다양한 작업을 쉽게 수행할 수 있도록 설계된 etcher/aser입니다. 이 장비는 진공 장비를 사용하여 테스트 중인 장치 (DUT) 를 강렬한 플라즈마 소스에 노출시켜 매우 선택적이고 반복 가능한 장치 에칭 또는 애싱 (ashing) 프로세스를 만듭니다. 이 공정 챔버에는 3 챔버 디자인, 플라즈마를 만드는 프리 챔버, 진공 에칭 또는 애싱 공정을 함유하는 반응 챔버, 반응 챔버에 반응성 가스를 도입하는 가스 전달 시스템 (gas delivery system) 이 있습니다. CHES400 장비에는 RF 생성기가 내장되어 있어 무선 주파수 신호 (Radio Frequency Signal) 를 생성하여 전기 스파크 플라즈마 반응을 생성합니다. ARC ENERGY CHES400의 RF 전원 공급 장치는 0.05 ~ 15kW이며, 광범위한 플라즈마 에칭/애싱 공정의 작동이 가능합니다. 컴퓨터 제어 프로그래머블 (computer-controlled) 프로그래머블 (programmable) 로직 컨트롤러는 사용자가 프로그래밍할 수 있는 프로세스 구성을 가능하게 하며, 이를 통해 사용자는 프로세스를 사용자 정의 요구 사항에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. CHES400 장비의 정교한 레티클 포지셔닝 장치에는 고급 모션 제어 기능이 포함되어 있습니다. 장비 기계에는 진공 도구 (vacuum tool) 와 가스 전달 시스템 (gas delivery system) 이 포함되어 있어 반응 챔버에서 최적의 작동 조건을 보장합니다. DUT의 과도한 가열을 방지하기 위해 ARC ENERGY CHES400에는 미리 정해진 설정 점에서 에칭 온도를 유지하기 위해 고급 냉각 에셋 (advanced cooling asset) 도 포함되어 있습니다. CHES400에는 상하 (top-hat) 형 압력 챔버 (pressure chamber) 도 포함되어 있으며, 반응 챔버에서 가스의 자동 배기 및 통풍이 가능합니다. 아크 에너지 체스 400 (ARC ENERGY CHES400) 장비는 신뢰할 수 있고, 반복 가능하며, 재생성이 뛰어난 에칭/애싱 작업을 제공하여 광범위한 어플리케이션에서 뛰어난 성능을 보장합니다. 정교한 모델은 재료 에칭 손실이 최소화되고 DUT에 대한 손상이 최소화되면서 매우 균일 한 에칭 프로파일을 만들 수 있습니다. 이 장비가 수행하는 에칭 (etching )/애싱 (ashing) 프로세스도 매우 선택적이고 반복 가능하여 관리하기 쉬운 일관된 에칭 성능을 제공합니다. 이 장비는 또한 고압 센서, 비상 차단 (emergency shoff), 인력 및 장비를 위험한 상황으로부터 보호하기 위한 경보 (alarm) 와 같은 안전 기능으로 설계되었습니다. 전반적으로 CHES400 은 고급 플라즈마 에칭/애싱 (etching/ashing) 장비로, 광범위한 어플리케이션에서 안정적이고, 반복 가능하며, 재현 가능한 성능을 제공합니다. 이 장비는 손쉽게 작동할 수 있도록 설계되었으며, 에치/애쉬 (etch/ash) 개발 및 특정 에칭 요구사항에 맞는 맞춤형 작업을 위한 뛰어난 유연성을 제공합니다.