판매용 중고 APTC Selex #9382377

APTC Selex
제조사
APTC
모델
Selex
ID: 9382377
Si Etcher, 12" TSV Deep.
APTC Selex는 PECVD (Advanced Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition), 공정 매개변수의 정확한 제어를 위해 설계된 에칭/애싱 장비입니다. 이 정밀 제어는 작고, 정밀도가 높은 금속 구조와 특징의 증착 및 제작을 허용합니다. 이 시스템은 두 고주파 전파를 모두 사용하여 플라즈마 방전 (plasma discharge) 을 생성하고, 고전압 DC 호 (DC arc) 를 사용하여 정밀도가 매우 높은 재료를 에치합니다. 이 두 기술의 조합으로 Selex는 증착과 에칭/애싱 모두에 매우 다재다능한 단위가 됩니다. 이 기계 에는 여러 가지 "가스 '사료" 라인' 과 여러 종류 의 재료 를 최적화 하도록 설계 된 챔버 가 들어 있다. 여기에는 다양한 물질의 균일 한 에칭을 제공 할 수있는 고밀도 석영 (quartz) 원자로가 포함됩니다. 또한 에치 패턴 (etch pattern) 과 재료 퇴적물을 정확하게 제어하기 위해 조절 가능한 온도 범위를 가진 작은 2 차 원자로가 특징입니다. 프로세스 매개변수의 정확한 제어를 통해 작은 고정밀 (high-precision) 구조의 반복 가능하고 안정적인 제작이 가능합니다. 이 도구에는 사용하기 쉬운 컨트롤러 및 소프트웨어 세트도 포함되어 있습니다. 직관적 인 "소프트웨어 '는 공정 에 사용 되는 여러 가지 재료 를 처리 하도록 특별 히 설계 된 여러 가지 공정" 레시피' 를 신속 히 설치 하고 전달 할 수 있게 해 준다. 또한 각 프로세스 단계를 정확하게 조정할 수 있습니다 (영문). 따라서 에칭 프로세스를 세밀하게 조정하여 최상의 결과를 얻을 수 있습니다. APTC Selex 에셋의 또 다른 기능은 처리 부품의 자동 추적을 위해 원격 RFID 코드 리더를 통합하는 기능입니다. 즉, 운영 주기의 모든 프로세스 단계에 대해 명확한 감사 추적 (audit trail) 을 제공하는 데 활용할 수 있습니다. 이는 생산된 각 제품에 대한 귀중한 데이터를 제공하며, 제조업체는 운영 프로세스를 개선하거나, 운영 문제를 신속하고 정확하게 파악할 수 있습니다. 요약하자면, 셀렉스 (Selex) 는 다양한 에칭/애싱 모델로, 다양한 고정밀 구조를 정확하게 에칭하고 배치 할 수 있습니다. 고주파 전파를 이용해 플라스마 방전 (Plasma Discharge) 과 고전압 DC 호 (DC Arc) 를 만들어 재료를 에치합니다. 사용자 친화적인 컨트롤과 소프트웨어를 통해 각 프로세스 단계를 세밀하게 조정하여 반복 (repeatable) 결과를 얻을 수 있습니다. 원격 RFID 코드 리더를 통합하는 기능은 또한 운영 프로세스 개선에 유용한 데이터를 제공합니다.
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