판매용 중고 APS / ADVANCED PLASMA SYSTEMS 2800 #107375

ID: 107375
asher, large area.
APS/ADVANCED PLASMA SYSTEMS 2800은 제조 및 생산에서 주요 응용 프로그램의 요구를 충족시키기 위해 설계된 최첨단 에칭/애셔입니다. 이 장비는 독점적 인 ICP 기술 (Inductively Coupled Plasma) 을 사용하여 전통적인 에칭 및 애싱 공정에 비해 상당한 이점을 제공하는 고출력 플라즈마를 만듭니다. "플라즈마 '는 진공 가압" 시스템' 안 에 들어 있으며 기판 에 직접 접근 할 수 있다. 이 장치는 처리량 (throughput) 과 정확도 (accurity) 모두에서 상당한 이점을 제공하며, 높은 조정을 가능하므로 고급 및 정밀 엔지니어링에 이상적인 선택입니다. APS 2800 은 가변 프로세스 매개변수, 압력 수준, 고급 장애 보호 시스템, 사용자 친화적 인터페이스, 지속적인 모니터링 등 다양한 기능을 제공합니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 추가 청소 또는 사전 처리가 필요하지 않고 유리, 도자기 및 알루미늄과 같은 재료를 처리 할 수 있습니다. 이 기계의 정확성과 안정성 (stability) 과 높은 처리량 (throughput) 은 큰 챔버 크기 (chamber size) 와 큰 기판을 쉽게 처리 할 수 있도록 다중 축 셔틀 보드 설계로 더욱 향상되었습니다. 이 프로세스는 또한 여러 개의 두께 (thickness), 다양한 압력 수준 (pressure level), 그리고 고객의 요구에 맞게 여러 전원 수준에서 가능합니다. 가변 펄스 지속 시간, 펄스 간격, 맥박 트리거링 (pulse trigering) 을 통해 프로세스의 일관성을 더욱 조정하여 가장 진보 된 기판 재료 준비를 수행합니다. 통합 제어 도구 (Integrated Control Tool) 는 실시간으로 반응하도록 조정되어 매우 정확한 프로세스 매개변수를 제공합니다. ADVANCED PLASMA SYSTEMS 2800도 안전하고 안정적인 자산입니다. 내장 보호 시스템은 부식을 효과적으로 줄이고 스파크를 제거합니다. 이 모델의 추가 기능 (예: 공정 반복 기능, 가스 복구 기능, 종합적인 안전 패키지) 은 정밀 에칭 및 애싱 (ashing) 에 매우 매력적인 선택입니다. 이 장비는 또한 시스템과 운영자를 보호하는 많은 내장 안전 기능을 포함합니다. 2800은 최고의 품질의 결과를 얻기 위해 훌륭한 선택입니다. 정확도, 정확도, 처리량이 높아 가장 까다로운 애플리케이션에 적합한 솔루션입니다. APS/ADVANCED PLASMA SYSTEMS 2800 장치는 기판을 에치 (etch), 애셔 (asher) 또는 클린 (clean) 기판을 원하든 간에 완벽한 솔루션입니다.
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