판매용 중고 APPLIED MATERIALS P 5000 XT #293816179
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ID: 293816179
Cluster plasma tool
Materials: Poly, nitride
He backing
2-Chamber Narrow Gap tool
Robot (Phase 3)
15-Slot storage elevator
ZA Slit valves
Wafer Positioning Sensor (WPS)
2-Stage cassette loadport
(2) Monitors
System SSD
CF сard Floppy Emulator
MXP Unibody chamber
Narrow Gap lid
SEIKO SEIKI STP-301CVB Turbo pump
SEIKO SEIKI SCU-350D Controller
MKS Manometer
(7) BROOKS INSTRUMENT Mass flow controllers
Process Gases: HBr, NF3, NF3-2, N2, He/O2, Ar, CF4
(2) AMAT / APPLIED MATERIALS AMAT-1 Heat exchangers
Stainless steel hoses, 50ft
(2) ENI OEM 12B RF Generators
AC Box.
APPLIED MATERIALS P 5000 XT는 고급 반도체 제조 공정을 위해 설계된 최첨단 에처/애셔 장비입니다. 이 고급 도구는 정밀도, 다양성, 신뢰성을 결합하여 최신 칩 제작의 엄격한 요구 사항을 충족시킵니다. 업계 최고의 반도체 장비 공급업체인 APPLIED MATERIALS에서 개발한 P 5000 XT는 업계 최고의 성능 및 프로세스 제어를 제공하는 업계 최고의 제품입니다. 코어에서 APPLIED MATERIALS P 5000 XT는 반도체 웨이퍼 제작에서 에칭 및 청소 프로세스에 사용되는 플라즈마 에처/애셔 시스템입니다. 이 도구에는 고급 플라즈마 처리 기능 (Advanced Plasma Processing Capability) 이 장착되어 있어 선택성과 균일성이 높은 웨이퍼 (Wafer) 표면에서 재료 레이어를 정확하게 제거할 수 있습니다. 반도체 제조 (semiconductor manufacturing) 에서 이러한 중요한 단계는 전자 장치의 기능을 정의하는 복잡한 패턴과 구조를 만드는 데 필수적입니다. P 5000 XT 는 광범위한 소재 및 공정 화학 물질을 처리하도록 설계되어 프런트엔드 (front-end) 및 백엔드 (back-end) 반도체 제조의 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 이 장치는 다용도 챔버 (chamber) 구성을 통해 여러 웨이퍼 크기와 유형을 처리할 수 있으며, 다양한 생산 요구사항에 유연성과 확장성을 제공합니다. APPLIED MATERIALS P 5000 XT의 주요 기능 중 하나는 고급 프로세스 제어 기능으로, 가스 흐름, 압력, 전력, 온도 등의 키 에치 매개변수를 정확하게 튜닝할 수 있습니다. 이러한 수준의 제어를 통해 반도체 제조업체는 원하는 에치 프로파일 (etch profile) 과 웨이퍼 전반에 걸쳐 높은 반복성과 균일성으로 재료 제거 속도를 달성 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 실시간 모니터링 및 피드백 메커니즘을 통합하여 프로세스 안정성과 안정성을 보장합니다. 에칭 외에도 P 5000 XT는 애싱 (ashing) 프로세스를 수행 할 수 있으며, 이는 웨이퍼 표면에서 유기 오염 물질과 잔기를 제거하는 데 필수적입니다. 이 기능은 소량의 오염 물질 (contaminant) 도 장치 성능 및 신뢰성에 영향을 줄 수 있기 때문에 제조되는 반도체 (semiconductor) 장치의 깨끗함과 무결성을 보장하는 데 중요합니다. APPLIED MATERIALS P 5000 XT에는 효율적인 재료 처리를 위해 고밀도, 균일 한 플라스마를 제공하는 최첨단 플라즈마 소스가 장착되어 있습니다. 이 도구는 에칭 중 웨이퍼 충전 효과를 정확하게 제어하기 위해 고급 RF 바이어스 (Advanced RF Bias) 기능을 갖추고 있으며, 손상을 최소화하고 프로세스 균일성을 향상시키는 데 도움이됩니다. P 5000 XT 의 챔버 (chamber) 설계는 높은 처리량과 효율적인 가스 분배에 최적화되어 웨이퍼 표면에서 빠르고 균일 한 처리를 보장합니다. 또한 APPLIED MATERIALS P 5000 XT는 작업을 간소화하고 인적 오류를 줄이는 고급 자동화 및 소프트웨어 제어 기능을 포함합니다. 이 자산에는 사용자 친화적 인 인터페이스와 프로그래밍 가능한 레시피 관리 툴 (Recipe Management Tools) 이 장착되어 있어 복잡한 프로세스를 쉽게 설정하고 운영할 수 있습니다. 이러한 자동화 수준은 반도체 제조업체가 빠른 속도 (Fast-Speed) 의 생산 환경에서 높은 생산성과 프로세스 효율성을 달성하는 데 도움이 됩니다. 전반적으로 P 5000 XT는 고급 반도체 제조 공정의 표준을 설정하는 최첨단 에처/애셔 모델입니다. 이 도구는 정확성, 다양성, 신뢰성을 갖춘 최신 반도체 제작 설비의 핵심 구성 요소로, 고성능, 신뢰성 있는 전자 장치를 생산할 수 있습니다. 반도체 기술이 계속 발전함에 따라 APPLIED MATERIALS P 5000 XT는 혁신의 선두에 서고 있으며, 진보를 주도하며, 반도체 업계의 새로운 가능성을 가능하게 합니다.
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