판매용 중고 ANTON PAAR HPA-S #293638236
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ID: 293638236
빈티지: 2006
High pressure asher
Power supply: 230 V, 1700 VA, 50/60 Hz
2006 vintage.
ANTON PAAR HPA-S Etcher/Asher는 혁신적인 비용 효율적인 에칭 및 금속 증착 장비로, 연구 실험실 및 기타 응용 프로그램에 이상적입니다. HPA-S 시스템은 고성능 금속 에칭과 증착을 뛰어난 정밀도와 정확도로 결합합니다. 이 장치는 다양한 기질 (예: 실리콘, 유리, 세라믹 및 금속) 에 최대 몇 미크론 두께의 금속 층을 배치 할 수 있습니다. ANTON PAAR HPA-S는 5 축 로봇 암과 고해상도 정전기 척을 사용하여 정확성, 유연성 및 성능을 결합합니다. HPA-S (HPA-S) 는 적은 프로필을 가지고 있으며, 적은 발의 인쇄를 제공하며, 다양한 공간에 맞게 설계되었습니다. 턴키 머신은 고정밀 에칭 챔버 (eching chamber) 와 정전기 척 플레이트 (electrostatic chuck plate) 를 포함한 여러 구성 요소로 구성됩니다. 약실 내부 에는, 수소 와 질소 의 조절 된 대기 가 "에칭 '과 퇴적물 작업 에 사용 된다. 내부 구성 요소는 안정성, 장기 성능 및 최적의 작동에 맞게 조정됩니다. 고정밀 (high-precision) 통합은 뛰어난 균일성과 정확한 온도 조절을 보장하며, 사용자가 구조와 특성을 변경하지 않고 재료를 정확하게 스텝, 스팟 또는 스윕 (sweep) 할 수 있습니다. ANTON PAAR HPA-S는 수소 플라즈마 또는 아르곤-플라즈마와 산소-풍부한 플라즈마 (ORP) 기술을 결합하는 원리를 따릅니다. 이를 통해 기계는 다른 기판에서 에칭하기 위해 매우 높은 정밀도를 달성 할 수 있습니다. 에처로서, HPA-S는 높은 해상도와 높은 에치 레이트를 달성 할 수 있으며, 최소 스퍼터링 (sputtering) 과 더 나은 이방성 (anisotropy) 으로 우수한 최종 결과를 산출합니다. 그리고 재 (asher) 로서, 큰 부분과 측면에 우수한 균일성을 제공 할 수 있습니다. ANTON PAAR HPA-S는 반도체 장치 제작, 포장, MEMS 및 의료 임플란트와 같은 응용 분야에 사용하도록 설계되었습니다. 또한, HPA-S 툴에는 고객이 원하는 에칭 (etching) 및 증착 프로세스를 쉽고 빠르게 프로그래밍할 수 있는 최상위 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 소프트웨어는 다양한 에칭 (etching) 매개변수를 조정하고 장비의 결과를 실시간으로 모니터링하여 프로세스 주기 (process cycle) 가 빨라지고 운영 처리량이 높아집니다. ANTON PAAR HPA-S 는 또한 엄격한 안전 및 환경 규정을 준수하므로, 사용자는 안전하고 책임있는 운영을 보장할 수 있습니다. 전체적으로, HPA-S는 에칭 및 금속 증착을위한 우수하고 사용자 친화적 인 솔루션을 제공합니다. ANTON PAAR HPA-S는 고성능 및 고정밀 기능의 조합으로, 연구 및 산업 응용 프로그램 모두에 필수적인 도구입니다.
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