판매용 중고 ANATECH / TECHNICS SP150 Quartz #9249322

ANATECH/TECHNICS SP150 Quartz는 etcher와 asher입니다. 반도체 산업에서 실리콘 (silicon) 처리에 사용되는 첨단 기술 중 하나이며, 다양한 에칭 (etching), 패턴화 (patterning) 및 예금 (depositing) 애플리케이션에 이상적입니다. ANATECH SP150 Quartz는 매우 정밀하고 정확하게 복잡한 패턴을 만들 수 있습니다. 따라서 photomask 생산 및 기판 에칭 (ettrate etching) 과 같은 프런트엔드 프로세스에 이상적인 선택이 가능합니다. TECHNICS SP150 Quartz는 에칭을 위해 방향 이온화 빔을 사용합니다. 빔은 하전 입자 빔 열 (charged particle beam column) 에 의해 지시되며 동적 빔 제어로 열적으로 생성됩니다. 이를 통해 에치 프로세스가 매우 정확하고 정확해질 수 있습니다. 빔의 매개변수도 조정이 가능하여 프로세스 제어 및 유연성이 향상되었습니다. SP150 Quartz는 견고한 프레임 설계를 통해 고온 프로세스에 적합합니다. 또한 "프레임 '은 내구성 이 강한" 스테인레스' 강철 로 만들어져 산화 와 부식 에 강하다. 또한 자가 클리닝 (self-cleaning) 및 윤활유 (lubricating) 요소로 유지 관리 요구 사항을 줄이고 시스템을 최적의 효율성으로 유지하십시오. ANATECH/TECHNICS SP150 Quartz는 또한 고급 가스 흐름 제어를 갖춘 하이브리드 가스 챔버 (hybrid gas chamber) 를 갖추고 있으며, 에칭 공정에 대한 전체 대기 제어를 제공합니다. 환경을 정확하게 제어하면 원치 않는 재료 증착이 최소화됩니다. 또한 인라인 억제제 에치 시스템 (in-line inhibitor etch system) 이 포함되어 있어 에칭 공정의 웨이퍼 손상을 줄입니다. ANATECH SP150 Quartz는 또한 강력한 로봇 통합 플랫폼 인 RIP (RIP) 와 호환되어 완전하게 자동화된 에치 프로세스를 지원합니다. RIP 는 대규모 생산의 핵심 구성 요소로, 처리량을 높이고, 품질이 우수하며, 주기 시간을 단축하는 데 도움이 됩니다. 전반적으로 TECHNICS SP150 쿼츠 (TECHNICS SP150 Quartz) 는 최소한의 재료 손실로 정확하고 정확한 패턴을 만들 수있는 강력한 에처 및 애셔입니다. 견고한 프레임 디자인, 고급 가스 흐름 제어 (gas-flow control) 및 RIP와의 호환성을 통해 대용량 생산에 적합한 툴입니다.