판매용 중고 ANATECH / TECHNICS 600-Series #9123994

ANATECH/TECHNICS 600 시리즈 에처 또는 애셔는 기판 에칭 또는 애싱 프로세스를 위해 특별히 설계된 다용도 머시닝 시스템입니다. ANATECH 600 시리즈 에처/애셔 (etcher/asher) 시스템은 최고의 성능과 유연성을 제공하여 가장 복잡한 설계를 효율적이고 재생성적으로 실행할 수 있습니다. 이 장비는 독점적 인 1200W RF 생성기, 쿼츠 플라즈마 챔버, 맞춤형 프로세스, 빠르고 쉬운 레시피 프로그래밍, 저압 제어 및 기타 고급 기능을 갖추고 있습니다. TECHNICS 600 SERIES 시스템은 금속, 폴리머, 안경, 반 도체 및 두꺼운 필름을 포함한 다양한 재료를 에치 할 수 있습니다. 이 장치는 실험실과 생산 실행을 위해 설계되었으며, 시간당 최대 600 와퍼 (wafer) 의 조절 가능한 처리량을 제공합니다. 독점적 인 "튜닝 가능한" 플라즈마 간격 기술을 사용하여 정확한 반복성으로 탁월한 에칭 성능을 제공하는 AGAP (Arc-Gap) 기계입니다. 따라서 고가의 웨이퍼 이동과 번거로운 포커스 제어가 필요하지 않습니다. 600 SERIES 툴에는 직관적인 운영자 지침 및 제어를 제공하는 직관적인 콘솔 기반 소프트웨어도 있습니다. 이 소프트웨어는 레시피 설정, 플라즈마 매개변수, 기판 동작, 온도 조절, 가스 및 기타 중요한 프로세스 매개변수를 제어할 수 있습니다. 유연한 프로그래밍 에셋을 사용하면 레시피를 빠르게 업로드하고 다른 매개변수로 실험하여 최상의 결과를 얻을 수 있습니다 (영문). 600 시리즈 모델은 통제되고 안전한 환경에서 광범위한 에치 화학 물질 (etch chemistry) 로 에칭 및 애싱 (ashing) 을 할 수 있습니다. "에칭 '용도 로 사용 되는 장비 는 감도, 정확도, 조절 에 이상적 인 자동" 가스' 분사 장치 를 사용 한다. 이 장치는 또한 다양한 가스 클리너 (gas cleaner) 와 재조합기를 제공하여 에칭 환경을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 테크닉스 600 시리즈 머신 (TECHNICS 600-Series machine) 은 에칭 및 애싱 외에도 다양한 스퍼터 프로세스를 처리하도록 설계되었습니다. 이 도구는 금속성 합금 (metallic alloys) 과 실리콘 층 (silicon layer) 과 같은 다양한 스퍼터링 대상 및 기판과 호환됩니다. 스퍼터 프로세스 제어 (sputter process control) 기능을 통해 사용자는 원하는 배치 두께와 프로파일을 쉽게 얻을 수 있습니다. ANATECH 600 SERIES 자산은 볼륨 챔버, 자동 비전, 하위 미크론 웨이퍼 해상도 및 이중 오븐 카세트 옵션 등 다양한 기능을 제공합니다. 이 고급 etcher/asher 장비는 생산성, 유연성 및 재생성을 극대화하는 완벽한 턴키 솔루션입니다.