판매용 중고 ANATECH P600 #9155507

ANATECH P600은 반도체, 박막 집적 회로 및 기타 마이크로 전자 부품을위한 고급 에처/애셔입니다. 강력하고 다양한 프로세스 기능을 자랑하는 단일 챔버 배치 모델입니다. 이 에처/애셔의 온도 범위는 -150 ~ 300 ° C로, 1:10 이상의 높은 종횡비를 가진 초미세 기능을 빠르게 제작합니다. 스테인리스 스틸 챔버의 용량은 480 리터이며, 균일 한 온도 분포를 위해 6 개의 500W 히터 전원 공급 장치가 장착되어 있습니다. 팬 냉각 히터 요소는 애싱 과정에서 균일 한 가열을 제공합니다. 또한, P600 etcher/asher는 RF 플라즈마 소스를 사용하여 재료 표면을 효율적이고 경제적으로 청소하고 에칭합니다. 이 모형 은 산소, 질소, "아르곤 '및 기타 건조" 가스' 를 사용 하여 "에칭 '용도 의 요구 조건 에 부합 하는 공정 환경 을 조성 할 수 있다. 0 ~ 500 와트에 이르는 4 개의 RF 전력 수준을 가지고 있으므로 서로 다른 프로젝트에 최적화된 프로세스 조건을 만들 수 있습니다. ANATECH P600 etcher/asher는 3.8 인치 LCD 인터페이스를 특징으로하며, 이를 통해 사용자는 모든 필수 매개변수를 설정하고 조정하여 에칭 및 애싱 프로세스를 성공적으로 적용할 수 있습니다. 여기에는 온도, 펌프 속도, RF 전력, 유량 및 기타 제품별 매개 변수가 포함됩니다. 또한, 사용자는 공정 압력, 온도, 진공 수준을 모니터링하여 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 에 필요한 조건을 달성할 수 있습니다. 약실 에는 누출 탐지기 (leak detector) 가 붙어 있는데, 이 "탐지기 '는 공정 이 시작 되기 전 에 완전 한 조건 이 충족 되도록 수정 할 수 있게 해 준다. P600 etcher/asher에는 견고한 창 청소 시스템이 있어 샘플 가시성을 높이고 오염을 줄일 수 있습니다. 또한 다양한 공정 단계의 증착률을 모니터링 할 수있는 QCM (Quartz Crystal Microbalance) 시스템이 장착되어 있습니다. 질소 제거 시스템은 샘플 산화를 방지하는 데 도움이되며, 수냉식 창문은 방사열 (radiant heat) 으로부터 보호됩니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 다양한 가스 소스와 호환되므로 많은 엑시머 레이저, 플라즈마, 이방성, 직접 에너지 증착 및 기타 응용 프로그램에 적합한 선택입니다. 환경 친화적 인 디자인으로 지속 가능성이 중요한 실험실에 이상적입니다. ANATECH P600 etcher/asher는 안정적이고, 효율적이며, 사용하기 쉽기 때문에 모든 마이크로 일렉트로닉스 관련 응용 프로그램에 적합한 솔루션입니다.