판매용 중고 AMMT MPSB 200 #293830097

제조사
AMMT
모델
MPSB 200
ID: 293830097
웨이퍼 크기: 8"
Porous silicon etcher, 8" Tank volume: ~3.8 Litre Separation plate: ∅ 189 mm Edge exclusion area: 9 mm HF Exposed area: 182mm (2) Electrodes Diameter: 190 mm Platinum meshed electrode Platinum (Pt) plate Silicon sacrificial electrode Optical window size: ∅ 189 mm Sapphire window backed: 1 mm Quartz disk Air pressure: 6 bar HF-Ethanol mixture Temperature range: 10°C – 30°C Fluidic drain: PTFE hose (ID: 6mm OD: 8 mm) Wafer holders: 2", 3", 4", 5", 6" ,8" Processing side (Left / Anode): Si: 46 mm PT: 55 mm Electrolytical contact side (Right / Cathode): Si: 46 mm PT: 55 mm.
AMMT MPSB 200은 기판 에칭, 포토 esist 제거, 표면 수정, 클리닝 등 다양한 프로세스에 반도체 산업에서 널리 사용되는 고성능 etcher/asher 장비입니다. 이 고급 장비 (Advanced Equipment) 는 탁월한 처리 능력, 정확한 제어 및 신뢰성으로 유명하며, 반도체 소자 제조 및 연구 실험실에 필수적인 도구입니다. MPSB 200 은 다용도 설계를 통해 광범위한 프로세스 (process) 기능을 제공하므로 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 이 시스템에는 여러 개의 가스 입구, 강력한 RF 발전기, 그리고 압력, 온도, 전력, 가스 유량과 같은 프로세스 매개변수를 정확하게 튜닝 할 수있는 정교한 제어 장치가 장착되어 있습니다. 이러한 유연성을 통해 사용자는 시스템을 특정 프로세스 요구 사항에 맞게 조정하고 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. AMMT MPSB 200의 주요 특징 중 하나는 플라즈마 에칭 기능 (plasma etching capability) 으로, 기판 표면에서 재료를 정확하게 제어하고 제거 할 수 있습니다. 플라즈마 에칭 (Plasma etching) 은 반도체 제조에서 기판에 정확한 패턴과 구조를 만들기 위해 널리 사용되는 건식 에칭 프로세스입니다. 이 공구는 일반적으로 산소, 염소, 플루오린과 같은 기체의 조합을 사용하여 생성 된 플라즈마 소스 (plasma source) 를 사용하여 기질 표면에서 물질을 선택적으로 제거합니다. 에칭 프로세스는 일반적으로 에칭 된 패턴의 균일성과 재생성을 보장하기 위해 통제 된 조건 하에서 수행된다. 플라즈마 에칭 외에도 MPSB 200에는 ashing 기능이 있으며, 이는 photoresist 제거 및 표면 청소에 사용됩니다. 애싱 (Ashing) 은 기질 표면에서 유기 잔기를 분해하고 제거하는 산소 기반 혈장 (plasma) 을 사용하는 건조한 청소 과정이다. 이 공정 은 "에칭 '공정 전후 의 기판 표면 을 깨끗 이 하는 데 있어서" 반도체' 제조 에 필수적 이며, 최종 제품 의 순도 와 질 을 보장 해 준다. AMMT MPSB 200 (AMMT MPSB 200) 은 자산의 안전한 운영을 보장하기 위해 고급 안전 기능과 컨트롤을 갖추고 있습니다. 이 모델은 과열, 과열, 가스 누출을 방지하고, 사고의 위험을 최소화하고, 운영자의 안전을 보장할 수 있도록 보호 기능을 내장했습니다. 또한, 이 장비에는 사용자 친화적 인 인터페이스 (user-friendly interface) 가 장착되어 있어 운영자가 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링하고 제어할 수 있으며, 프로세스 조건을 쉽게 최적화하고 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. 전반적으로 MPSB 200은 다양한 반도체 제조 프로세스에 대한 고급 기능, 정확한 제어, 신뢰성을 제공하는 고성능 etcher/asher 시스템입니다. 다용도 설계, 플라즈마 에칭, 애싱 기능, 고급 안전 기능을 갖춘 AMMT MPSB 200은 반도체 제조업체와 연구 실험실에서 공정의 고품질, 정확한 결과를 얻기 위해 유용한 도구입니다.
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