판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Tetra #293633171

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ID: 293633171
System Part number: 0010-45807.
AMAT/APPLIED MATERIALS Tetra는 뛰어난 결과를 제공하기 위해 설계된 최첨단 에처/애셔입니다. 이 장비는 고속 에칭 (etching) 및 다양한 재료의 재싱을 가능하게하도록 설계된 4 가지 공정을 통합합니다. AMAT Tetra는 플라즈마 에칭, RIE (반응성 이온 에칭) 및 애싱, O2 에칭 및 애싱, 젖은 에칭 및 애싱을 결합합니다. 이 고급 시스템은 서피스 (surface) 및 깊이 (depth) 에칭을 모두 지원하므로 유연하고 효율적인 처리 기능을 제공합니다. APPLIED MATERIALS Tetra는 표면 물질의 에칭 및 재싱에 고급 PECVD (플라즈마 강화 화학 증기 증착) 프로세스를 사용합니다. 이 단위는 낮은 온도와 압력에서 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 을 가능하게하여 우수한 프로세스 결과를 얻을 수 있습니다. 테트라 (Tetra) 는 처리 속도가 매우 빠르므로 사용자가 처리량 및 데이터 획득률을 높일 수 있도록 설계되었습니다. 이 기계는 효율성이 높으며, 재료 활용률이 높고, 운영 비용이 매우 저렴합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Tetra는 또한 산소, NF3, CHF3 및 Ar과 같은 다양한 가스를 사용하는 에칭/애쉬 공정을 기반으로 고급 반응성 이온 에처/애셔를 제공합니다. 이 도구는 여러 표면에 걸쳐 매우 균일한 에칭을 제공하며, 에치 깊이 (etch depth) 와 선택성 (selectivity) 을 매우 정확하게 제어하도록 설계되었습니다. AMAT 테트라 (AMAT Tetra) 는 습식 에칭 및 애싱 기능을 지원하므로 대규모 어플리케이션의 생산성을 향상시킬 수 있습니다. 이 자산을 통해 사용자는 기존의 습식 처리 (wet processing) 보다 빠른 에치 레이트를 달성할 수 있으며, 주기 시간을 줄이고, 사용자에게 우수한 결과를 제공합니다. APPLIED MATERIALS Tetra 는 다양한 자동화 및 프로세스 제어 옵션을 제공하여 최고의 유연성과 효율성을 보장합니다. 이 모델은 탁월한 프로세스 반복성과 신뢰성을 제공하도록 설계되었으며, 기존의 물리적/화학적 프로세스 챔버와 호환됩니다. 테트라 (Tetra) 는 또한 통합 챔버 폐쇄 장비를 제공하여 추가 격리 없이도 안전과 운영을 강화합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Tetra는 탁월한 에치/애싱 성능을 제공하도록 설계된 고급 시스템입니다. 이 장치는 플라즈마 에칭 (plasma etching), RIE, O2 에칭 (O2 etching), 습식 에칭 (wet etching) 및 애싱 (ashing) 의 네 가지 공정을 결합하여 우수한 프로세스 결과를 제공합니다. 이 기계는 저온과 압력에서 표면 (surface) 과 깊이 (depth) 에칭 (etching) 이 가능하며, 뛰어난 공정 반복성과 신뢰성을 제공합니다. AMAT 테트라 (AMAT Tetra) 는 또한 유연한 자동화 및 프로세스 제어 옵션을 제공하며, 안전성 및 운영 향상을 위해 통합 챔버 폐쇄 도구를 제공합니다.
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