판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS TELIUS #9109069

AMAT / APPLIED MATERIALS TELIUS
ID: 9109069
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
Oxide etcher, 12" (3) Chambers 2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS TELIUS는 미국 칩 제조 장비 회사 인 AMAT가 개발 한 고급 과학 에처 및 애셔입니다. AMAT TELIUS는 회사의 최신 etcher/asher 모델이며 inautomotive, medical 및 semiconductor 산업을 포함한 산업 시장을 대상으로합니다. 12.8 cm/s 의 빠른 속도와 낮은 유지 보수 (maintenance) 요구 사항으로, 이 장비는 많은 기업에게 빠르게 대중적인 선택이되었습니다. APPLIED MATERIALS TELIUS는 고급 GFM (Gas Flow Meter) 과 함께 설치되는 다중 축 시스템입니다. GFM은 에칭 속도/애싱 속도 (etching speed/ashing speed) 를 정확하게 측정할 수 있으며, 서비스는 장치 자체 통합 컴퓨터 소프트웨어에서 모니터링 및 제어됩니다. GFM 을 통해 사용자는 에칭/어싱 프로세스를 추적하고 그에 따라 매개 변수를 세밀하게 조정할 수 있습니다. 텔리우스 에칭 (TELIUS etching) 및 애싱 (ashing) 시스템에는 여러 종류의 가스 소스와 대량 흐름 컨트롤러가 장착되어 있어 필요에 따라 화학적 환경을 조작할 수 있습니다. 이러한 컨트롤러에는 산소 센서, 입구 (Inlet) 및 콘센트 압력 센서 (outlet pressure sensor) 및 진공 게이지와 같은 다양한 주변 장치가 제공됩니다. 따라서 결과를 보다 정확하게 모니터링할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS TELIUS 에칭/애셔의 마지막 중요한 기능은 기계의 청소 기능입니다. AMAT TELIUS는 내장 화학 청소 기능을 사용하여 처리 후 입자를 쉽게 정리하도록 설계되었습니다. 고급 여과 도구 (advanced filtration tool) 를 사용하면 정상적인 여과에 너무 작은 입자를 제거할 수 있으며 오염 물질이 없는 작업 공간을 제공합니다. APPLIED MATERIALS TELIUS는 산업 및 연구 용도로 설계된 고급 에처 및 애셔입니다. 정확하고 사용자 친화적인 설계 덕분에, TELIUS 자산을 통해 고객은 쉽게 결과를 모니터링, 조정, 제어할 수 있습니다. 다중 축 아키텍처, 화학 및 청소 기능을 갖춘 AMAT/APPLIED MATERIALS TELIUS는 많은 산업에서 안정적이고 비용 효율적인 솔루션입니다.
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