판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9017194
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판매
ID: 9017194
빈티지: 2001
SACVD BPSG system, 8"
System overview:
Technology: DCVD
Wafer shape: SNNF
Position A: (XY) BPSG TWIN
Position B: (XY) BPSG TWIN
Position C: (XY) BPSG TWIN
System software: 3.4_8
NT version: P 133
Factory interface system 5.4 FI, options:
Number of load ports: 2
Metrology unit: Nanometrics
Light tower: 4-color configurable light tower
Remote options, system monitors:
First local monitor: standalone 15"
Second local monitor: TTW with keyboard, 15"
Remote options, heat exchanger:
System heat exchanger: Steelhead
AMAT HX hoses and manifolds: AMAT stainless hose upgrade: yes
Pumps:
Transfer chamber: BOC Edwards IPX-100L
Chamber A roughing pump: BOC Edwards iH-1000
Chamber B roughing pump: BOC Edwards iH-1000
Chamber C roughing pump: BOC Edwards iH-1000
System power mainframe: 208 V, 3 phase, 4 wire, 300 A
EMO interface: 24 VAC
Ch A-B-C, (XY) BPSG TWIN:
Robot blades: aluminum, (2) 0040-43516
Heater: HA-12 tight RF mesh with non RF cap, (2) 0190-03516
Foreline TV: 2.5" heated throttle valve, 0010-38429
Foreline ISO: valve, ISO 200 mm SACVD PROD-REP.16 holes, 0010-01653
RPS: Astron EX RPS, 0920-00057
Ch A, (XY) BPSG TWIN, gas box options:
Gas pallet type: BPSG only
Line 1: O3
Line 2: O2- 20SLM
Line 3: N2 Purge
Line 4: NF3- 3SLM
Line 5: Empty
Line 6: Ar- 5SLM
Line 7: He- 20SLM
Line 8: He- 20SLM
Line 9: He- 20SLM
Line 10: Liquid N2 purge
Line 11: Empty
Line 12: Empty
Line 13: Empty
Line 14: Liquid Pos 1, Teb- .5 g/min
Line 15: Liquid Pos 2, TEOS- 4.0 g/min
Line 16: Liquid Pos 3, Tepo- .25 g/min
Ch A-B-C, (XY) BPSG TWIN, process abatement: TCS
Ch A-B-C, (XY) BPSG TWIN, process kit:
Gas box: gas box - bypass, (2) 0040-53927
Blocker UHD: blocker, 200 mm producer, (2) 0021-09914
Faceplate BPSG: faceplate, 200 mm producer, (2) 0021-03568
Top pumping liner: pumping liner top producer, (2) 0020-00402
Liner, ceramic middle: liner, ceramic middle, producer, (2) 0020-00316
Liner, ceramic bottom: liner, ceramic bottom, producer, (2) 0020-00317
Liner, ring insert: liner, ring insert, producer, (2) 0021-06569
Lift pin-TC: lift pin 170 fixed floating 200 mm producer, (8) 0200-03314
Lift ring: lift ring 120 fixed floating 200 mm producer, (2) 0200-02576
Hoop: hoop 140 fixed floating 200 mm producer, (2) 0200-02577
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE (AMAT/APPLIED MATERIALS 생산 업체 SE) 는 고급 소재 및 신기기 생산을 위해 설계된 고급형 원자로입니다. 이 원자로 는 가장 엄격 한 요구 조건 을 충족 시키도록 설계 되었으며, 고급 재료 와 신기술 (신제품) 을 생산 할 수 있는 가장 높은 수율 을 제공 하였다. AMAT 생산자 SE (AMAT Producer SE) 는 맞춤형 반도체 기술, 자재 과학, 처리 전문 지식의 독보적인 조합을 결합하여 고급 자재 및 장치에 가장 높은 수율을 제공합니다. 즉, 고객의 볼륨 또는 복잡성에 관계없이 프로세스 충실성을 보장하기 위한 최고 수준의 자동화 (automation) 및 확장성을 위해 설계되었습니다. 이 원자로의 유연한 아키텍처 (flexible architecture) 는 반응물의 흐름을 정확하게 제어 할 수 있으며, 다양한 반응물을 처리 할 수 있습니다. 이 원자로는 또한 정교한 제어 시스템을 갖추고 있으며, 반복 가능하고 예측 가능한 반응과 결과를 보장합니다. 제어 시스템 (Control System) 은 반응 매개변수를 미세 조정 프로세스로 조정하고 결과를 조정하여 수율을 최적화할 수 있습니다. 원자로의 고급 디자인은 난방 (heating), 냉각 (cooling) 및 압력 제어 시스템이 장착 된 종합적인 공정 챔버 제품군으로 구성됩니다. 이를 통해 반응 온도, 반응 시간 및 압력 프로파일을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 고속 가스 전달이 가능합니다. 이 원자로의 재료 공정 시스템에는 SEM/EDS, TEM, FTIR, GCMS 및 XRD와 같은 일련의 재료 분석 시스템도 포함됩니다. 이러한 시스템을 사용하면 처리 전/후의 재료 단면을 신속하게 특성화할 수 있습니다. 즉, 정확한 프로세스 최적화를 위해 재료를 신속하게 샘플링 및 분석 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS 생산 업체 SE (APPLIED MATERIALS Producer SE) 는 고급 자재 및 장치 제조업체의 요구에 부응하도록 설계되었으며, 대용량, 고수율 생산 및 생산성 향상을 지원합니다. 실험실 기술과 실험을 생산 라인으로 번역하는 데 이상적인 솔루션입니다.
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