판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS PE-8330 #9148218

AMAT/APPLIED MATERIALS PE-8330은 집적 회로 및 기타 마이크로 전자 부품에 박막 유전체를 증착하도록 설계된 에처/애셔입니다. 장비는 최소한의 시간에 정확성과 정확성으로 다양한 필름 (film) 과 소재 (material) 를 에칭할 수 있다. 200mm x 490mm 설치 공간으로, 이 도구는 생산 라인 통합을 위한 소형 솔루션을 제공합니다. AMAT PE-8330은 광범위한 결과를 얻기 위해 반응성 이온 에칭 (RIE) 및 유도 결합 플라즈마 반응성 이온 에칭 (ICP) 을 모두 사용합니다. RIE 모드는 최적의 필름 두께 균일성을 위해 에치 선택도가 2:1 (으) 로 낮은 유전체의 정확한 에칭에 사용됩니다. ICP 프로세스는 높은 제어 수준을 유지하면서 에칭 속도를 증가시킵니다. APPLIED MATERIALS PE-8330 챔버에는 0.15MM 미만의 기계적 비균일성을 가진 독특한 무인 자동 레벨 플랫폼이 있습니다. 드라이브 없는 설계를 통해 부품을 잘못 로드하지 않고도 연속적인 프로세스 반복이 가능합니다. 또한이 도구는 1 토르 챔버 압력과 최대 45kW의 RF 전력을 갖춘 저응력 프로세스 환경을 갖추고 있습니다. PE-8330 컨트롤러는 데이터 디스플레이 (data display) 모드가 여러 개인 고유한 프로세스 모니터로, 운영자가 에칭 (etching) 프로세스를 실시간으로 관찰할 수 있습니다. 컨트롤러는 프로세스 제어, 추적, 자동 최적화를 위해 최대 700 개의 레시피를 저장할 수 있습니다. 이 시스템은 빠르고 안정적인 에칭을 제공하며, 안전한 프로세스 환경을 보장합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS PE-8330은 90% 이상의 가동 시간을 자랑하는 신뢰성이 뛰어난 장치입니다. 이 도구는 고온, 저하중 (low load) 프로세스 등 다양한 조건에서도 지속적으로 사용할 수 있도록 설계되었습니다. 또한 견고한 설계를 통해 유지 관리 요구 사항을 최소화하고 TCO (총 소유 비용) 를 절감할 수 있습니다. 전반적으로 AMAT PE-8330 etcher/asher는 빠르고 정확한 에칭 결과를 제공하는 사용하기 쉬운 기계입니다. 이 도구는 자동 (automated) 생산을 위해 설계되었으며, 정밀하고 높은 처리량으로 다양한 재료를 에칭할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS PE-8330 은 고급 기능을 통해 프로세스 반복성과 최소한의 유지 보수 요건을 충족하는 안정적인 에칭 (etching) 솔루션을 제공합니다.