판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark I #9411663

ID: 9411663
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1996
Metal etcher, 6" 1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark I은 반도체 제작 산업의 요구를 충족시키기 위해 특별히 설계된 etcher/asher입니다. 이 특정 모델은 금속 플래튼과 단일 액체 질소 냉각 척 (chuck) 으로 제작되어 프로세스 균일성 향상, 효율성 향상, 다른 에처보다 정밀도 향상. AMAT P5000 Mark I은 균일성 및 처리량을 향상시키기 위해 단일 로드 장비를 갖춘 멀티 존 (multi-zone), etcher/asher입니다. 이 장비는 드라이 에칭 (dry etching) 및 습식 애싱 (wet ashing) 프로세스를 모두 수행 할 수 있습니다. 또한, APPLIED MATERIALS P5000 Mark I은 예금 과정에서 발생하는 온도 변동에도 일정한 균일성을 제공하도록 설계되었습니다. P5000 Mark I은 구성 응용 프로그램을 위한 고급 기능 세트를 제공합니다. 여기에는 고정밀도, 3 축 동작 제어 시스템이 포함되어 있으며, 최대 1 mm 정확도로 최대 500 mm/s의 동작을 제어 할 수 있습니다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark I은 CVD, PECVD 및 ALD와 같은 광범위한 증착 프로세스를 수행 할 수 있습니다. AMAT P5000 Mark I은 온도, 압력, 유속 등의 프로세스 변수를 정확하게 제어 할 수도 있습니다. 또한 APPLIED MATERIALS P5000 Mark I은 매우 정확하고 효율적입니다. 이 모델은 공정 중에 생성 된 모든 입자와 연기가 필터링되도록 하는 3 단계 여과 단위 (three stage filtration unit) 를 특징으로합니다. 그런 다음이 장치에는 매개변수와 프로세스 제어를 실시간으로 수정하기 위해 여러 개의 인사이트 (in-situ) 및 실시간 모니터링 시스템이 장착됩니다. 또한 P5000 Mark I은 내구성이 뛰어나고 유지 보수가 쉽습니다. 이 장치는 부식 방지 유리 인테리어와 에폭시 (epoxy) 기반 에어록으로 설계되어 쉽게 접근 및 청소합니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 고온에서 지속적으로 실행되고 안전하고 신뢰할 수있는 방식으로 일관되게 결과를 생성 할 수 있습니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark I etcher/asher는 고급적이고 정밀한 제조 장비입니다. 다중 영역 설계, 정밀 3축 모션 컨트롤 머신, 고급 현장 모니터링 도구, 신뢰할 수 있는 온도 및 압력 제어 기능으로 안정적이고 효율적입니다. 이러한 기능을 통해 AMAT P5000 Mark I은 반도체 제작 산업에 적합한 선택입니다.
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