판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Omega #168263

ID: 168263
Chambers.
AMAT/APPLIED MATERIALS 오메가 에치/애셔 (Omega Etch/Asher) 는 공정 시간과 온도의 중요한 제어가 필요한 다양한 에칭 및 애싱 응용 프로그램에 널리 사용되는 고성능 플라즈마 에처/애셔 장비입니다. AMAT 오메가 (AMAT Omega) 는 마이크로프로세서 제어 시스템, 전용 프로세스 측량 및 모니터링 등 첨단 기술로 인해 제품 변형에 대한 신속하고 안정적인 응답을 제공하여 탁월한 프로세스 제어를 제공합니다. 응용 재료 (APPLIED MATERIALS) 오메가 (Omega) 는 에칭 및 애싱 기능을 두 유형의 프로세스를 동시에 처리할 수있는 하나의 단일 도구로 결합합니다. 프로그래밍 가능한 전원과 자체 포함 플라즈마 생성 챔버가 장착되어 있습니다. 동력 은 "가스 '를 약실 에 도입 한 공정" 가스' 로부터 "플라즈마 '를 만드는 데 필요 한 전력 을 공급 한다. 처리 중 적절한 온도 및 압력 제어를 위해 오메가 (Omega) 는 고급 정교한 온도 보상 시스템을 갖추고 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Omega는 플라즈마 감금을 통한 고급 가스 분포 (Advanced Gas Distribution) 로 인해 뛰어난 에칭 및 애싱 정확성과 반복 성을 제공합니다. 공정 제어 장치 (process control unit) 는 시간과 온도의 함수로서 정밀한 전력을 제공하여 에치/애쉬 (etch/ash) 프로세스를 최적화하도록 설계되었습니다. 또한, 특허를 획득한 고급 에치/애쉬 챔버 (etch/ash chamber) 기술은 광범위한 기판이 어떠한 유형의 손상도 없이 효율적으로 처리되도록 합니다. AMAT 오메가 (AMAT Omega) 는 레시피 개발 도구, 자동화된 프로세스 조정, 에치/애쉬 프로세스 (etch/ash process) 의 강력한 분석 등 여러 기능을 제공하여 장애 및 이상을 신속하게 파악하고 자세한 프로세스 정보와 결과를 제공합니다. 또한, 고급 사용자 인터페이스는 APPLIED MATERIALS Omega (APPLIED MATERIALS Omega) 를 사용자 친화적 인 기계로 만들어 프로세스 매개변수에 쉽게 액세스할 수 있으며 운영자가 운영 조건을 신속하게 수정할 수 있습니다. 오메가 에치/애셔 (Omega Etch/Asher) 도구는 정확도, 속도, 신뢰성을 결합하여 프로세스 성능을 향상시키고 성능 품질을 보장하고자 하는 고객에게 완벽한 선택입니다. 뛰어난 프로세스 제어, 고급 플라즈마 생성 기능 및 넓은 챔버 설계를 갖춘 AMAT/APPLIED MATERIALS Omega는 고급 에칭 및 애싱 어플리케이션에 적합합니다.
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