판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS MxP #157600

AMAT / APPLIED MATERIALS MxP
ID: 157600
Chamber.
AMAT (APPLIED MATERIALS) AMAT/APPLIED MATERIALS MxP Asher/Etcher는 오늘날의 고급 전자 부품의 에칭/스트리핑에 사용되는 혁신적인 장비입니다. 에칭 (etching) 및 스트리핑 (stripping) 응용 프로그램을 모두 사용할 수 있으므로 다양한 설정에서 다양한 기능을 사용할 수 있습니다. 완전 밀폐형, 자동화된 플랫폼으로, 언제든지 최대 3 개의 기판을 처리 할 수 있습니다. AMAT MxP Asher/Etcher (AMAT MxP Asher/Etcher) 는 펄스, 저압 에칭 공정으로 작동하며, 깨끗하고 일관된 결과를 생성하면서 기판 표면의 무결성을 유지하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 다양한 에칭 프로세스 레시피 (etching process recipe) 와 사용자 정의 가능한 설정 (customizable settings) 을 제공하여 다양한 운영 설정의 특정 요구를 충족시킵니다. 그 과정 을 시작 하기 위하여, "웨이퍼 '는 기계 의 주실 에 처음 소개 되는데, 거기 에서" 와퍼' 는 산소, 질소 및 기타 여러 가지 "가스 '에 노출 된다. 이러 한 "가스 '는" 에칭' 과정 을 시작 하고 "웨이퍼 '의 표면 온도 를 최적 수준 으로 유지 하는 데 사용 된다. 그런 다음 기질은 저압 샤워 (low-pressure shower) 를 받아 에칭 된 물질을 전달합니다. 이렇게 하면 기판 표면의 깨끗하고 제어된 에칭이 보장됩니다. 에칭이 완료되면, 기질은 O2 플라즈마 애셔 (O2 plasma asher) 에 노출되어 웨이퍼 표면에서 남은 금속 산화물을 제거합니다. 이렇게 개선 된 "클리닝 '과정 은" 에치' 의 저하 와 생산 과정 중 의 표면 부식 의 가능성 을 감소 시킬 수 있기 때문 에, 더 나은 "에칭 '과" 스트리핑' 결과 를 가져온다. APPLIED MATERIALS MxP Asher/Etcher는 우수한 에칭 또는 스트리핑 결과를 찾는 사람들을 위해 쉽게 사용할 수있는 솔루션입니다. 이 장치는 최첨단 설계를 사용하여 오래된 애셔/에처 (asher/etcher) 모델에서 흔히 발생하는 장애, 손상 또는 열악한 결과의 위험을 최소화합니다. 이 장치 는 어려운 일 들 을 쉽게 처리 할 수 있어서, 오늘날 의 고급 "반도체 '" 애플리케이션' 에 적합 한 장치 가 된다. MxP Asher/Etcher는 첨단 생산 설정의 필수 구성 요소입니다.
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