판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Hart #9225943

AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Hart는 반도체 웨이퍼의 정확하고 반복 가능한 에칭을 제공하기 위해 설계된 고급 에처 및 애셔 장비입니다. 이 시스템은 에칭 및 애싱 기능으로 최대 4 개의 300mm 웨이퍼를 한 번에 처리 할 수 있습니다. 이 장치에는 커스텀 디자인 열 척 (custom-design heated chuck) 이 장착되어 기판에 배치 된 에치/애쉬 (etch/ash) 의 사전 결정되고 균일 한 두께를 보장합니다. AMAT Hart 기계는 자기 보조 화학 에칭 (MAC-Etch) 프로세스를 사용하여 웨이퍼의 정확하고 균일 한 에칭을 보장합니다. 이 과정은 강렬한 전자기장 (electromagnetic field) 을 적용하여 기판의 제어 및 제어 가능한 에칭을 생성합니다. 이 프로세스를 사용하여 APPLIED MATERIALS Hart는 해상도가 1nm 미만인 에칭 응용 프로그램을 달성 할 수 있습니다. 또한 MAC-Etch 프로세스는 기존의 에칭 프로세스와 비교하여 매우 낮은 폴리 그레인 잔류를 생성합니다. 또한이 도구는 기판에 산소 또는 실리콘 함유 층을 증착시키기 위해 설계된 시간 절약 프로세스 인 SOG (spin-on-glass) 증착을 수행 할 수 있습니다. 이것 은 "기판 '의 접착력 을 향상 시키고" 에치' 의 균일성 을 향상 시키기 때문 에 유익 한 과정 이다. Hart 에셋에는 레이저 열 처리 (laser thermal processing) 모델도 장착되어 있으며, 이 모델은 에치/애쉬 (etch/ash) 프로세스를 더 빠르고 더 적은 프로세스 단계로 완료하는 데 사용됩니다. "레이저 '열 처리 장치 는" 에칭' 과 "애싱 '의 정확도 를 높이고, 기판 마무리 를 더 좋게 하며, 공정 의 전반적 인 균일성 을 향상 시킨다. 이 시스템은 또한 데이터 모니터링 장치 (data monitoring unit) 와 통합되어, 수집된 프로세스와 제품 데이터를 저장 및 모니터링할 수 있습니다. 따라서 프로세스 매개변수와 매개변수를 조정하여 프로세스 균일성과 정밀도를 향상시킬 수 있습니다. 마지막으로, 이 기계는 직관적인 사용자 인터페이스로 편리하게 사용할 수 있도록 설계되었습니다. 이를 통해 사용자는 신속하게 프로세스 레시피를 프로그래밍하고 에칭/어싱 프로세스를 제어할 수 있습니다. 전반적으로, AMAT/APPLIED MATERIALS Hart 도구는 정확성과 속도로 반도체 웨이퍼를 에칭하기위한 강력하고 신뢰할 수있는 자산입니다.