판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Gas box for Centura DPS II #9407675

Centura DPS II 용 AMAT/APPLIED MATERIALS 가스 상자는 Centura DPS II 시스템에서 사용하도록 설계된 고성능 에처/애셔입니다. 프로세스 필터링, 가열, 가습식 가스 전달 장비로 안정적이고 일관된 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 이것은 최대 5 인치 너비의 기질에서 박막 물질의 정확하고 균질한 에칭 및 애싱을 보장합니다. 가스 (gas) 상자에는 이상적인 증착 과정에 필요한 모든 매개변수와 조건을 정확하게 제어하는 고급 제어판 (advanced control panel) 이 있습니다. 가스 박스는 산화물 에칭, 폴리 이마이드 에칭 및 애싱, 질량 선택적 에칭, 2D 패턴 애싱 등 다양한 에칭 및 애싱 응용 분야를 위해 설계되었습니다. 자동 중심, 조정 가능한 높이 및 캔틸레버 포지셔닝을 갖춘 진공 플래튼 (vacuum platen) 을 사용하여 뛰어난 에칭 및 애싱 균일성을 제공합니다. 가스상자에는 기판 또는 스테퍼 정렬 광학 (stepper alignment optics) 의 응축을 방지하는 가열되고 가습화 된 스테이지 시스템이 포함되어 있습니다. 또한 독립적으로 제어 된 가스 보닛과 최대 6 개의 다른 가스를 지원할 수있는 가스 믹서 (gas mixer) 를 포함하는 공정 필터링 가스 제어 장치 (process-filtered gas control unit) 가 포함되어 있습니다. 이 기계에는 또한 교차 오염의 영향을 줄이는 5 개의 열 격리 밸브 어셈블리가 포함되어 있습니다. 또한, 액체 에친트 보유 용 테이퍼리스 비커 (taperless beaker) 와 에찬트 안전한 제거를위한 가스 드레인 (gas drain) 이 특징입니다. Centura DPS II 용 AMAT 가스 박스 (Gas box for Centura DPS II) 는 다양한 응용 프로그램에 고품질의 정확한 결과를 제공 할 수있는 고급 에칭 및 애싱 도구입니다. 프로세스 필터링 된 가스 전달, 가열되고 가습화 된 스테이지 도구, 열 격리 밸브 어셈블리, 액체 에칭을위한 테이퍼리스 비커 (taperless beaker) 와 같은 기능을 통해 사용 편의성, 안전 및 정확성을 위해 설계되었습니다. 이것은 박막 재료 에칭 및 애싱에서 안정적이고 일관된 성능을 보장합니다.