판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS G5 #9400025

AMAT/APPLIED MATERIALS G5는 다양한 기판을 에치 및 처리하는 데 사용되는 생산 중심 단일 챔버 에처/애셔 플랫폼입니다. AMAT G5 는 정확하고, 안정적이며, 반복 가능한 성능을 제공하도록 설계, 제작되어 대용량 제조 공정에 유용한 툴입니다. APPLIED MATERIALS G5는 저온에서 고전력 에칭까지 다양한 에칭 기능을 제공합니다. SiO2, Si3N4 및 SiC, 질화 알루미늄 (AlN) 및 깊은 우물 에칭과 같은 실리콘 재료를 에칭하는 데 사용할 수 있습니다. 에칭 프로세스는 챔버 온도 (chamber temperature) 및 압력 제어 시스템 (pressure control system), 프로세스 가스 (process gase), RF 전원 및 기타 다양한 하드웨어 구성과 같은 다양한 옵션으로 다양한 어플리케이션 요구에 맞게 최적화될 수 있습니다. G5 는 에치 챔버 (etch chamber) 의 기판 온도를 조절하고 프로파일링할 수 있는 고유한 기능을 가지고 있다. 또한, 프로그래밍 가능한 컨트롤러를 사용하면 사용자 친화적 인 그래픽 인터페이스를 통해 최적의 온도, 압력, 가스 흐름 프로파일을 설정할 수 있습니다. 에처 (etcher )/애셔 (asher) 는 운영자 손상 및 작동 위험을 방지하기 위해 안전 인터 록 (safety interlock) 시스템을 갖추고 있으며, 이는 위험 시 펌프 및 전원을 끌 수 있습니다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS G5는 프로세스 별 모니터링, 자동화된 데이터 획득, 통계 프로세스 제어 기능을 제공하는 직관적인 사용자 인터페이스를 제공합니다. 이 직관적 인 사용자 인터페이스를 통해 etcher/asher를 최소한의 연산자 개입으로 효율적인 방식으로 작동 할 수 있습니다. EMC Control System 은 안정적이고 정교하며, 쉽고 효과적인 프로세스 제어 및 항상 간편한 프로세스 최적화 기능을 제공합니다. AMAT G5는 3 리터의 챔버 부피를 가지며, 다양한 기판 크기와 에칭 공정으로 칩 생산에 사용될 수있다. 효율적이고, 안정적이며, 견고하며, 산업용 생산 공정에 적합합니다. APPLIED MATERIALS G5는 고성능 에칭 및 애싱 어플리케이션의 대용량 생산을 위한 선택입니다.